【摘要】：首先扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50～80倍，它的满量程信号输出在80～100mV之间。另外，扩散硅压力传感器的传感器部分、敏感转换部分和检测部分三位一体，无机械动件连接转换环节，所以不重复性和迟滞误差很小。扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级，膜片最大位移量在微米数量级，且无机械磨损，无疲劳，无老化。由于扩散硅材料本身优良的化学防腐性能，即使传感器受压面不隔离，也能在普通环境中适应各种介质。
首先扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50～80倍，它的满量程信号输出在80～100mV之间。对接口电路适配性好，应用成本相应较低。由于它输入激励电压低，输出信号大，且无机械动件损耗，因而分辨率极高。
另外，扩散硅压力传感器的传感器部分、敏感转换部分和检测部分三位一体，无机械动件连接转换环节，所以不重复性和迟滞误差很小。由于硅材料的刚性好，形变小，因而传感器的线性度也非常好。因此综合测量准确度很高。
扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级，膜片最大位移量在微米数量级，且无机械磨损，无疲劳，无老化。平均无故障时间长，性能稳定，可靠性高。(www.xing528.com)
随着集成工艺技术进步，扩散硅敏感膜的四个电阻制造准确度得到进一步提高，原始的手工补偿已被激光调阻、计算机软件自动调整技术所替代，传感器的零位和灵敏度温度系数已达10-5/℃数量级，工作温度也大幅度提高。
由于扩散硅材料本身优良的化学防腐性能，即使传感器受压面不隔离，也能在普通环境中适应各种介质。硅材料又与硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔离时结构工艺更易于实现。加之它的低电压、低电流、低功耗、低成本和本质安全防爆的特点，可替代诸多同类型的同功能产品，具有最优良的性能价格比。
免责声明：以上内容源自网络，版权归原作者所有，如有侵犯您的原创版权请告知，我们将尽快删除相关内容。
