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光栅测量基本原理解析

时间:2023-06-27 理论教育 版权反馈
【摘要】:图中Ⅰ为不透光的暗条纹,Ⅱ为透光的亮条纹,这种明暗相间的条纹被称为莫尔条纹。莫尔条纹的间距w与栅距d、光栅夹角θ的关系可由图中的ΔABC求出:图9.1-1黑白型长光栅图9.1-2莫尔条纹的形成由上式可以得出如下重要结论:对应关系。莫尔条纹是由大量的栅线形成的,这对栅线宽度和栅距的刻划误差、栅线的断裂及其它疵病有平均作用,从而起到了减小光栅栅距局部误差的作用。

光栅测量基本原理解析

光栅是光栅传感器的主要元件,它是一块尺子,在尺面上刻有透明或不透明的排列规则和形状规则的刻线,图9.1-1所示是黑白型长光栅尺。尺上平行等距的刻线称为栅线。a为条纹宽度,b为刻线宽度,d=a+b称为光栅栅距(亦称光栅节距或称光栅常数)。一般情况下,光栅的透光缝宽等于不透光的缝宽,即a=b。如果把两块黑白型长光栅尺面对面相迭放,两块光栅尺的栅线形成很小夹角θ;由于光的干涉效应,就会产生垂直于栅线的明暗相间的条纹,如图9.1-2所示。图中Ⅰ为不透光的暗条纹,Ⅱ为透光的亮条纹,这种明暗相间的条纹被称为莫尔条纹。如果两光栅尺做左右相对运动,则莫尔条纹上下运动。莫尔条纹的间距w与栅距d、光栅夹角θ的关系可由图中的ΔABC求出:

图9.1-1 黑白型长光栅

图9.1-2 莫尔条纹的形成

(www.xing528.com)

由上式可以得出如下重要结论:

(1)对应关系。在两光栅夹角θ一定的情况下,两光栅沿垂直于栅线的方向移动时,莫尔条纹沿着栅线方向移动。如果光栅移动一个栅距d,莫尔条纹对应地移动一个纹距w。这种严格的对应关系,不仅可以根据莫尔条纹的移动量来判断光栅尺的位移量,同时可以根据莫尔条纹的移动方向来判断光栅尺的位移方向。

(2)放大作用。由式(9.1-1)可知光栅的放大系数为

θ角越小,K值越大。如令θ=0.00174532rad(即1"),d=0.02mm,K=572.961,w=11.4592mm。尽管栅距很小,但莫尔条纹却很明显,所以,我们可以用较大的莫尔条纹移动量换算出非常小的光栅位移x。

(3)平均效应。莫尔条纹是由大量的栅线形成的,这对栅线宽度和栅距的刻划误差、栅线的断裂及其它疵病有平均作用,从而起到了减小光栅栅距局部误差的作用。

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