【摘要】：压电声表面波传感器是同时利用压电效应与逆压电效应制作的传感器。逆压电效应来源于带电粒子在电场中所受的力。声表面波传感器是利用外界因素对声表面波传播参数的影响而制作的。声表面波传感器的转换元件是SAW振荡器基片，SAW振荡器基片是由石英晶体、压电陶瓷或压电薄膜构成，当它受到多种物理、化学或机械微扰时，振荡频率会发生变化，通过设计使它仅对某一被测量敏感，而敏感区位于表面薄层附近。
压电声表面波传感器是同时利用压电效应与逆压电效应制作的传感器。
外加交变电场通过逆压电效应的耦合作用时，在压电体中会激发起各种形式的弹性波，此弹性波在压电体中传播的机械谐振频率与外加交变电场的频率相同时，压电体便成为压电振子，进入机械谐振状态。
逆压电效应来源于带电粒子在电场中所受的力。正负粒子在电场中会反向移动，电偶极子会旋转直到与电场方向一致，由此引起的位移就是逆压电效应的机械应变。
声表面波传感器（SAWS）是利用外界因素（如温度、压力、加速度等）对声表面波传播参数的影响而制作的。1965年，White等人发明了声表面波技术，利用声表面波技术已研制成多种表面波器件，如带通滤波器、振荡器、相关器和延迟线等。(www.xing528.com)
声表面波传感器（SAWS）有许多优点，如体积小、重量轻、功耗小；SAW器件应用平面制作工艺，极易集成化、一体化、结构牢固、质量稳定、重复性好，可靠性好；精度高、灵敏度高、能把被测量转变成电信号频率的测量，抗干扰能力强；被测量转换成频率变化的数字信息易于与微机进行传输、处理，组成控制系统。
声表面波传感器（SAWS）的转换元件是SAW振荡器基片，SAW振荡器基片是由石英晶体、压电陶瓷或压电薄膜构成，当它受到多种物理、化学或机械微扰时，振荡频率会发生变化，通过设计使它仅对某一被测量敏感，而敏感区位于表面薄层附近。
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