当沿着一定方向对某些电介质施加压力或拉力而使其变形时,在某两个表面上便产生正负极性相反的电荷,当外力去掉后,又重新回到不带电状态;反向作用力时,电荷的极性也随着改变,产生的电荷量与作用力的大小成正比,这种现象被称为压电效应。压电效应是可逆的,当在电介质的极化方向施加电场时,这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械应力;当外加电场消失后,这些变形或应力也随之消失,称之为逆压电效应,或称为电致伸缩效应。可见,压电式传感器是一种典型的“双向传感器”。
具有压电效应的材料称为压电材料。在自然界中,已发现二十多种单晶体具有压电效应,石英(SiO2)晶体就是一种性能良好的压电材料。此外人造压电陶瓷,如钛酸钡、锆钛酸铅等多晶体也具有良好的压电功能。现以石英晶体和压电陶瓷为例讨论压电效应及其工作方式。
1.石英晶体
石英晶体有天然和人造之分。在传感器中使用的是石英晶体的低温相α-石英晶体,当温度高于573℃以上时,则变为β-石英晶体,其压电效应基本消失。天然和人造石英的外形虽有不同,但是两个晶面之间的夹角是相同的。石英晶体属六方晶系,有左旋和右旋石英晶体两种,其外形互为镜象对称,理想外形都有30个晶面。图6.1-1(a)为右旋石英晶体,图6.1-1(b)为左旋石英晶体。由于晶体的物理特性与方向有关,因此就需要在晶体内选定参考方向,这种方向叫晶轴。如图6.1-1(c)所示,与晶体纵轴方向一致的是Z轴,是晶体的对称轴,光线沿该轴通过晶体时不发生折射,因而被称为光轴。在Z轴方向上作用力时,不产生压电效应。X轴是垂直于Z轴且通过六面体相对的两条棱线的轴,显然X轴共有三个。由于压电效应产生的电荷多是出现在垂直于X轴的平面上,所以又称X轴为电轴。Y轴垂直于两个相对的晶体表面,Y轴也有三个。Y轴被称为机械轴,是由于在电场作用下,沿该轴方向的机械形变最明显。沿电轴X方向的力作用下产生电荷的压电效应称为纵向压电效应。沿机械轴Y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为横向压电效应。从晶体上沿轴线切下的压电晶体切片,如图6.1-1(d)所示。
图6.1-1 石英晶体
(a)右旋石英晶体;(b)左旋石英晶体;(c)坐标系;(d)晶体切片
晶片在沿X轴方向上受到压缩应力σx的作用时,晶片将产生厚度变形,发生极化现象。在晶体的弹性范围内,极化强度Px与应力σx的关系是
式中 Fx——沿晶轴X方向施加的压缩力;
d11——压电系数(dmn下标的含义为:m为产生电荷的面的轴向;n为施加作用力的轴向。石英晶体中,1、2、3分别表示X、Y、Z轴,d11=2.3×10-12C/N);
lb——石英晶片长度和宽度的乘积。
极化强度Px又等于晶片表面的电荷密度,即
式中 qx——垂直于X轴平面上的电荷。
由式(6.1-1)和式(6.1-2)得
当晶片受到X方向的压力作用时,qx与Fx成正比关系,与晶片的几何尺寸无关。
石英晶体的压电特性与其内部分子的结构有关。其化学式为SiO2,在一个晶体单元中有三个硅离子Si+4和六个氧离子O-2,氧离子是成对的,一个硅离子和两个氧离子交替排列。当没有力作用时,Si+4与O-2在垂直于晶轴Z的XY平面上的投影恰好等效为正六边形排列。如图6.1-2(a)所示。这时正、负离子正好分布在正六边形的顶角上,它们所形成的电偶极矩p1、p2、p3(电偶极矩p=ql,q为电荷,l为间距,是一种矢量,方向是从负电荷指向正电荷)的大小相等,相互的夹角为120°,正负电荷中心重合,电偶极矩的矢量和为零,即
当晶体受到沿X轴方向的压力Fx作用时,晶体沿X轴方向产生压缩,Si+4与O-2离子的相对位置发生变化,如图6.1-2(b)所示。正负电荷中心不重合,电偶极矩在X方向上的分量不再为零,p1在X方向上的分量减小,p2、p3则增大,电偶极矩在X轴的正方向上出现正电荷;p2、p3在Y方向上的分量大小相等,方向相反,所以电偶极矩在Y轴方向上的分量之和仍然为零,故电偶极矩在Y、Z轴方向上都不出现电荷。(www.xing528.com)
当晶体受到沿Y轴方向的压力Fy的作用时,晶体沿Y轴方向产生压缩,产生形变如图6.1-2(c)所示。p1在X方向上的分量增大,p2、p3则减小,电偶极矩在X轴的正方向上出现负电荷,在Y、Z轴方向上都不出现电荷。
图6.1-2 石英晶体的压电效应示意图
当晶体受到沿Z轴(光轴)方向的作用力时,晶体在X、Y轴方向上不产生形变,正负电荷中心保持不变,电偶极矩的矢量和为零,不会产生压电效应。
显然,当作用力Fx或Fy的方向发生改变时,电荷的极性也会相应变化。根据以上分析,晶片受力时,产生电荷的极性如图6.1-3所示。
图6.1-3 晶片电荷极性与受力方向的关系
在石英晶体的各个方向上同时施加相等的力(如液体压力,热应力等)时,石英晶体电偶极矩的矢量和仍为零,不会产生体积变形的压电效应。
2.压电陶瓷
压电陶瓷是一种常用的人工制造的多晶体压电材料,压电陶瓷在没有极化之前并不具有压电现象,经过极化处理后其压电系数大大提高。
原始的压电陶瓷没有压电性,但在材料内部有自发的电偶极矩形成的称之为“电畴”的微小极化区域,它们在原始材料中是无序排列的,如图6.1-4(a)所示,各自的极化能力相互抵消。这些小的电畴在20~30k V/cm的强化电场中放2~3h后,将使极性转到接近电场方向,见图6.1-4(b)。当电场去掉后电畴的极化方向基本保持不变。压电陶瓷最常见的电极是银层,它通过煅烧与陶瓷牢固地结合在一起。电极的附着力极重要,如结合不好便降低有效电容量和阻碍极化。
图6.1-4 压电陶瓷电畴结构
(a)极化前;(b)极化后
通常把压电陶瓷的极化方向定义为Z轴,在垂直于Z轴的平面上,任意选择的正交为X轴和Y轴。
当陶瓷材料受到外力作用时,电畴的界限发生移动,因此引起极化强度的变化,在两个镀银极化面上分别出现正负电荷,其电荷量q与力F成正比,用下式表示
式中 dmn——压电系数。
m、n的意义与石英晶体定义相同。
极化压电陶瓷的平面是各向同性的,平行于Z轴的电场与沿X轴或Y轴的轴向应力的作用关系是相同的。
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