【摘要】：超精密主轴 超精密机床的主轴回转精度直接影响加工工件的精度。空气静压轴承比液体静压轴承回转精度高，而且高转速时温升小，热变形误差小。超精密导轨 导轨上的工作台是带动加工工件进行快速进给运动的重要部件，要求动作灵活，直线精度高，导轨耐磨性好，高速运动时产生的热变形小。人造大理石整体铸造的床身比铸铁的谐振峰值小60%，极大地提高了高速机床的稳定性，质量仅为铸铁的1/3，这些正是超精密机床所需要的。
（1）超精密主轴 超精密机床的主轴回转精度直接影响加工工件的精度。采用空气静压轴承，其主轴回转精度，国内可以达到0.05μm，国外可以达到0.03μm。日本已研制出主轴回转精度可以达到8nm的空气静压轴承。空气静压轴承比液体静压轴承回转精度高，而且高转速时温升小，热变形误差小。主轴转速最高可以达到30万r/min。
（2）超精密导轨 导轨上的工作台是带动加工工件进行快速进给运动的重要部件，要求动作灵活，直线精度高，导轨耐磨性好，高速运动时产生的热变形小。床身和导轨材料采用热变形小、耐磨性能高的“人造大理石”，抗压强度可达到100MPa，莫氏硬度为3～5（3000～5000HV），耐磨性高于铸铁10倍（几种机床材料性能对比见表4-1）。吸振能力比铸铁高6.5倍，热导率只有1.3W/（m·K），是铸铁[52W/（m·K）]的2%，这样受环境温度变化的影响极其微小。人造大理石整体铸造的床身比铸铁的谐振峰值小60%，极大地提高了高速机床的稳定性，质量仅为铸铁的1/3，这些正是超精密机床所需要的。导轨有滚动导轨、液体静压导轨和空气静压导轨等，导轨直线度可达到（0.025～0.1）μm/100mm。
表4-1 几种机床材料性能对比(www.xing528.com)
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