超精密铣削的环境要求

（1）空气 在工作环境中存在大量悬浮的尘埃微粒，包括金属微粒、矿物微粒、植物纤维及一些微生物、细菌病毒等，空气中的尘埃颗粒即使只有0.5μm，对超精加工工件表面质量都会产生很大的影响。如精密研磨时采用的磨料粒度为0.05μm，而空气中的尘埃的颗粒比磨粒大10倍，这些尘埃颗粒进入到研磨剂或抛光液中，将会把加工表面划伤，尤其在超大规模的集成电路中，如图形线条的宽度有的只有1μm，精度为0.01～0.1μm，如果有一个0.1μm尘埃颗粒落在线路网上面，将可能产生断路或短路。

超精加工要求工作室内空气洁净度为100，100洁净度的含义为1m³含直径为0.5μm颗粒的尘埃个数小于3500个。一般手术室的洁净度为1000，允许1m³含0.5μm颗粒的尘埃为35000～50000个，比超精密加工的环境空气洁净度低10倍。

（2）温度 如果超精密加工100mm长的钢件，温度每升高1℃，其长度将增加1～1.2μm的误差；铝合金长度为100mm时，温度每变化1℃，将产生1.35μm的误差。若保证0.1μm的加工精度，则环境温度变化应控制在±0.05℃的范围。

一般精加工：20℃±（1～2）℃；精密级加工：20℃±（0.2～0.5）℃；超精密级加工：20℃±（0.01～0.1）℃；纳米级加工：（20±0.01）℃以下。(www.xing528.com)

（3）湿度 精密加工环境的相对湿度控制在35%～45%。相对湿度高于50%，机床会生锈，光学镜头会生雾，电子元件将产生短路；相对湿度低于30%，有些材料会变脆，导线护套容易产生裂纹，产生漏电击穿，同时由于静电作用使尘埃更容易吸附在物体表面。

（4）振动 在精密加工时，振动对加工精度有很大的影响，尤其对表面质量危害最大。要求工作台X、Y方向的振幅小于0.05μm；工作台Z方向的振幅小于0.05μm。

（5）噪声 对于精密加工的工作室，应严格控制室内的噪声，其噪声应控制在50～55dB范围。