入射电子信息的产生与应用

入射电子产生的各种信息如下。

（1）背散射电子，其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。背散射电子来自样品表层几百纳米的深度范围，由于它的产额随样品原子序数增大而增多，所以不仅能用作形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。

（2）二次电子，在入射电子束作用下，被轰击出来并离开样品表面的核外电子叫作二次电子，这也是真空中的自由电子的主要来源。二次电子一般都是在表层5～10 nm 深度范围内发射出来的，它对样品的表面形貌十分敏感。因此，二次电子能有效地显示样品的表面形貌。二次电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系，所以不能用它来进行成分分析。

（3）吸收电子，入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量损失殆尽（假定样品有足够的厚度，没有透射电子产生），最后被样品吸收。产生背散射电子较多的部位（原子序数大），其吸收电子的数量就较少，反之亦然。因此，吸收电子能产生原子序数衬度，同样也可以用来进行定性的微区成分分析。(www.xing528.com)

（4）透射电子，当样品厚度小于入射电子的穿透深度时，入射电子将穿透样品，从样品表面射出的电子称为透射电子。透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构来决定，透射电子中除了有和入射电子能量相当的弹性散射电子外，还有各种不同能量损失的非弹性散射电子，其中特征能量损失ΔE 的非弹性散射电子（特征能量损失电子）和分析区域的成分有关，因此，可以利用特征能量损失电子和电子能量分析器来进行微区成分分析。

（5）特征X 射线，当样品原子的内层电子被入射电子激发电离，样品原子就会处于能量较高的激发态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而使具有特征能量的X 射线释放出来。根据莫塞莱定律，如果用X 射线探测器，测到了样品存在某一种特征波长射线，就可以判定这个微区中存在着相应的元素。

（6）俄歇电子，在能量电子入射样品的过程中，原子内层电子被激发电离形成空位，较高能级电子跃迁至该空位，同时释放的能量使原子外层电子发射，发射出来的电子即为俄歇电子。俄歇电子一般源于样品表面以下几个nm，因而特别适合用作表层成分分析。