引言：现代传感器分类与应用发展透视

传感器技术是当今全球发展最为迅猛的高新技术之一，也是当代科学技术发展的一个重要标志。依据国家标准（GB7665-87），“传感器（sensor）”是指能够感受规定的被测物理量并依照一定的规定转换成可用信号输出的器件或装置，主要由敏感元器件和转换元器件组成，另外辅之以信号调整电路或电源等。敏感元器件是指能够直接感受被测物理量，并输出与其成确定关系的其他物理量的元器件。传感器的种类繁多，根据不同的分类原则，传感器具有不同的分类（见表6.3.1）。

表6.3.1　传感器的分类

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目前，电导型纳米传感器研究已经成为纳米科技研究领域的重要分支之一，现已在航空航天、军事国防、信息科技、矿山机械、食品安全、石油能源、生物医学、化学环保、农林渔业、灾害预警等诸多领域获得广泛的应用和发展。尤其以金属氧化物纳米材料为代表的电导型气敏传感器，其中最典型且研究较多的金属氧化物纳米材料主要有SnO2、ZnO、In2O3、Fe2O3及NiO等。此外，不同纳米尺度、不同制备环境、不同表面结构的同一种金属氧化物，对不同气体表现出来的敏感性不同、检测限度不同。

电导型半导体金属氧化物纳米传感器是研究较多、应用较为普遍的一类纳米传感器，其主要原理是：待测气体分子与金属氧化物纳米敏感材料接触时，便在材料的表面发生吸附和化学反应，使得纳米材料的电学性质发生改变，通过这种方式检测环境中有害、有毒、可燃、易爆等气体的存在及浓度的大小。本章中，我们通过氧化法将磁场诱导生长的镍纳米线阵列氧化为p型半导体氧化镍，再结合lift-off微加工工艺在氧化镍阵列表层制备微电极，封装为微型气敏传感器，在自制的气体传感器测试系统中对制备的传感器性能进行测试，分析其响应恢复特性、重复稳定性、选择性等。