对墨水分别为GaIn24.5和Ga68.5In21.5Sn10的液态金属图案进行了能量散射X射线(energy dispersive X-ray,EDX)分析[6],结果如图8.7a。从图中可以看出,对于墨水GaIn24.5,金属图案表面包含3种元素:Ga、In和O,质量分数分别为74.93%、24.41%和0.66%,Ga、In的百分比含量与墨水中两种元素的百分比含量非常接近,O成分主要是由于液态金属图案表面氧化物的存在。同样,对于墨水为Ga68.5In21.5Sn10的液态金属图案,表面存在Ga、In、Sn、O 4种元素,其质量分数分别为68.11%、21.86%、9.73%、0.30%。墨水为GaIn24.5的液态金属图案的X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS,Mg Kαx射线源)的分析结果显示在图8.7b中。光电子谱主峰对应的结合能为18.2 eV,对应的成分为纯Ga;而另外两个峰对应的结合能为20.8 eV和19.8 eV,分别是Ga2O3和Ga2O的特征线;此外,对应16.3 eV的峰是In 4d(In0)的特征线(图8.7c)。
图8.7 液态金属图案表面的化学成分分析[6]
a.墨水为GaIn24.5的能谱分析图;b.墨水为Ga68.5In21.5Sn10的能谱分析图;c.Ga 3d的XPS谱。
液态金属图案表面的SEM图像显示在图8.8中,从图中可以看出表面存在散乱的小颗粒,这主要是在基底上未融合的液态金属微液滴;表面的不平整是由于液态金属氧化物的存在降低了其流动性。使用光学轮廓仪(NT9100M)测量金属图案的表面形貌,显示于图8.9a中,测量的均方根粗糙度为1.27 μm,表面的沟槽可能是由于液滴的溅射所致。更细致的表面形貌显示于图8.9b中,测量工具为原子力显微镜(Veeco Dimension D3100 AFM),均方根粗糙度和平均粗糙度测量值分别是115 nm和90.2 nm。在纳米尺度上液态金属图案仍存在着表面起伏。
为了观察单个液态金属微液滴的形貌,笔者实验室进行了如下实验[6]:将液态金属GaIn24.5置于去离子水中,使用一台超声破碎仪对液态金属进行破碎,去离子水中由于分散了金属小颗粒而变得浑浊,用吸管取出水溶液滴在TEM铜网上后采用透射电子显微镜观察,TEM图像如图8.10所示。从图中可以看出,液态金属微液滴呈球形,原因在于GaIn24.5有较大的表面张力(0.624N·m-1)。
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图8.8 液态金属图案表面的SEM图片[6]
图8.9 液态金属图案的三维表面形貌图[6]
a.光学轮廓仪测量;b.原子力显微镜测量。
图8.10 GaIn24.5液滴的TEM图[6]
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