静电放电对电子行业的危害形式及防范措施

●要点提示：

吸附尘埃坏芯片，电容击穿透绝缘。

加速老化漏电流，模式失效有几种。

●实用技术：

静电对电子工业危害最大的主要有下列几种方式。

1.吸附尘埃

静电吸附尘埃对微电子生产业影响很大，在现代大规模集成电路生产中，芯片的线宽已达到0.1μm。如果其产生静电，则对几微米到几十微米的尘埃吸附作用明显。一颗直径几微米的尘埃吸附在芯片上，即可造成十几根芯线之间的绝缘强度降低，使芯片漏电流增大，使用寿命缩短，甚至造成短路，使芯片损坏。酸、碱微粒子吸附在芯片上，还可造成芯片腐蚀。(www.xing528.com)

图3-7 静电放电将电子元器件熔出孔洞或烧毁

2.静电场感应及放电

导电物体置于静电场中感应带电，当感应到某一个限定值时也可发生静电放电。当元器件置于静电场中发生感应带电时，在器件或芯片氧化膜两端及结构金属突出部位因尖端效应可感应出较强电场。因各点对地电位不同，当电场强度超过某结构点绝缘强度的限值时，就能导致介质之间或结构点之间击穿（或软击穿），使元器件失效或品质降低。除直接放电外，还可通过分布电容、电感耦合放电。

3.静电放电及产生的宽带电磁脉冲效应

静电放电可使集成电路芯片介质击穿、芯线熔断、漏电流增大加速老化、电性能参数改变等。静电放电对芯片损坏具有潜在和缓慢的失效性，这种情况危害性更大。另外，静电放电可产生从低频到几兆赫兹的宽频带干扰，对电子仪器、信息化系统、医疗监护系统等产生静电噪声和电磁干扰，能量较大的放电产生的电磁脉冲可造成飞行器、通信系统联络中断，使其不能正常工作，甚至造成电子设备损坏。