离子化学热处理设备简介

1.基本构造

离子化学热处理设备由炉体（工作室）、真空系统、介质供给系统、测温及控制系统和供电及控制系统等部分组成，其基本构造如图9-7所示。

图9-7 离子化学热处理设备的基本构造

1—干燥箱 2—气瓶 3、22、23—阀 4—压力表 5—流量计 6—U形真空计 7—真空计 8—钟罩 9—进气管 10—出水管 11—观察孔 12—阳极 13、16—阴极 14—离子电源 15—温度表 17—热电偶 18—抽气管 19—真空规管 20—进水管 21—真空泵

2.技术参数和技术条件

（1）技术参数 离子化学热处理设备包括下列主要技术参数：

1）电源电压（V）。

2）电源频率（Hz）。

3）整流输出额定功率（kW）。

4）整流输出电压调节范围（V）。

5）整流输出额定电流（A）。

6）最大处理表面积（cm²）。

7）最大装炉量（kg）。

8）最高使用温度（℃）。

9）有效加热区尺寸（mm）。

10）工作气体流量范围（在标准条件下，L/min）。

11）极限真空度（Pa）。

12）工作真空度（Pa）。

13）压升率（Pa/min）。(www.xing528.com)

14）外形尺寸（mm）。

15）设备重量（kg）。

（2）技术条件 按照有关标准规定，离子化学热处理设备应满足下列技术条件：

1）设备应配备完整的电气、温度、真空度和气体压力及流量的测量指示仪表。

2）在非真空状态下，阴阳极之间的绝缘电阻用1000V兆欧表测量应不低于4MΩ。

3）在非真空状态下，阴阳极之间应能承受工频电压2U_o+1000V的耐压试验，1min无闪烁或击穿现象（U_o为整流输出最高电压）。

4）极限真空度应不低于6.7Pa。

5）在空炉状态下，由大气抽到极限真空度的时间不大于30min。

6）压升率不大于0.13Pa/min。

7）在工作气体最大流量情况下，真空泵应能保证工作范围（66.7～1066Pa）真空度的动态平衡。

8）设备应有可靠的灭弧装置。

对离子渗碳炉，由于工件淬火的需要，极限真空度应达到6.7×10^-3Pa，压升率不大于0.67Pa/h。

3.离子化学热处理设备的分类

离子化学热处理设备的分类方法较多，主要分类方式有以下几种：

（1）按炉体结构分类 按炉体结构可分为工件吊挂的深井式炉、工件堆放的钟罩式炉、工件既可吊挂又可堆放的综合式炉和侧面进出料的卧式炉。

（2）按控制方式分类 按控制方式可分为采用手动控制工作气体流量、抽气速率、炉压、工作过程（保温阶段的温度可用PID方式调节）等参数和流程的普通型炉，采用PLC控制器和触摸屏人机操作界面（HMI）控制工艺流程和参数的自动型炉，采用厂级管理远程遥控的以太网型炉。

（3）按加热方式分类 按加热方式可分为单一辉光离子轰击加热和增加辅助热源加热两种炉型。

（4）按辉光放电电源种类分类 按辉光放电电源种类分为直流调压电源和直流脉冲电源两种炉型。