【摘要】：受激准分子激光器是在紫外线领域的高效率大功率输出的振荡型气态激光器。为了使受激准分子激光器能在高于大气压的条件下工作，受激分子一般会有2、3次碰撞，使得激励很快发生，受激分子的寿命就短到纳秒级。要使高效率的受激准分子激光器快速激励，必须要求高功率密度的激励放电。表5-2 光刻用的KrF受激准分子激光器的一些参数
受激准分子激光器是在紫外线领域的高效率大功率输出的振荡型气态激光器。该激光放电管的构成与上面TEACO2激光器极为相似。但是，它比TEACO2激光器在激励放电上更为困难。
为了使受激准分子激光器能在高于大气压的条件下工作，受激分子一般会有2、3次碰撞，使得激励很快发生，受激分子的寿命就短到纳秒级。要使高效率的受激准分子激光器快速激励，必须要求高功率密度的激励放电。虽然闸流管能够构成简单的激励电路，但由于是作为放电开关，存在使用寿命等问题。要想受激准分子激光器能够运用于产业领域，必须达到高重复频率、长寿命和高可靠性的要求，因此逐渐流行使用半导体开关的固体化电源以代替闸流管。光刻用重复频率为2000pulse／s的受激准分子激光器已经产品化，更高重复频率的研究正在进行，对固体化电源的负载研究也在逐渐展开。表5-2所示的是光刻用的KrF受激准分子激光器的一些参数。今后曝光光源的ArF（193nm）受激准分子激光器、F2（157nm）受激准分子激光器的短波长化研究，以及在微细加工的应用研究都将要进行。另外，除了光刻，这种激光器还可以用于TFT液晶退火、喷墨打印机的喷嘴箱加工、眼科疾病的治疗等。
表5-2 光刻用的KrF受激准分子激光器的一些参数(www.xing528.com)
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