【摘要】：图10-12 音叉式硅微振动陀螺的结构除了硅微框架驱动式陀螺外，音叉式硅微振动陀螺也是目前研究比较多的一种微陀螺，图10-12 所示为音叉式硅微振动陀螺的结构。质量块悬在空中，可在其水平平面内来回振动，亦可在其垂直平面内上下振动。当给质量块两侧的叉指式电容加上交变电压时，在众多微弱静电力的作用下，质量块将在其所在平面内来回振动。
图10-12 音叉式硅微振动陀螺的结构(www.xing528.com)
除了硅微框架驱动式陀螺外，音叉式硅微振动陀螺也是目前研究比较多的一种微陀螺，图10-12 所示为音叉式硅微振动陀螺的结构。微机械音叉陀螺仪采用单晶硅梳状结构，有两个可动扁平质量块，每一块的两个相对侧面呈梳状，与基座上也呈梳状的侧面构成叉指式驱动电容，用来驱动质量块在其平面内做线振动；另外两个相对侧面上均匀分布4 根挠性梁。通过这8 根挠性梁，外加2 根横梁，把两质量块连成一个整体，然后再通过两质量块对称处的4 根挠性梁，将质量块整体连在基座上，悬在空中。质量块下面的一个电极板，与其下表面上的电极构成检测电容，用来敏感质量块的上下振动。质量块悬在空中，可在其水平平面内来回振动，亦可在其垂直平面内上下振动。当给质量块两侧的叉指式电容加上交变电压时，在众多微弱静电力的作用下，质量块将在其所在平面内来回振动。此时，质量块便能检测同一平面内垂直于其运动方向的角速度。如果此方向上有角速度输入，那么质量块将受到垂直于它所在平面的哥氏惯性力作用，产生上下振动。这将引起它下面敏感电容的变化，且电容变化量与输入角速度的大小成正比，所以通过检测敏感电容变化量的大小，便可获得输入角速度值。
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