锰铜压阻式传感器的工作原理:电阻R 变化由导体电阻率变化决定,这与半导体应变计工作原理相似。
导体电阻率ρ 随压力增大而减小,随温度增高而增加:
式中,ρ0 为常温常压下的电阻率;ρP 为由于压力P 引起的电阻率增量,ρP =ρ0·Kp;ρT 为由于温度引起的电阻率增量,ρT =ρ0·αT0;K、α 分别为压力系数和温度系数。
对于多数金属导体,其压力系数和温度系数在数量上近似,因而两种因素都不可忽略。对某些金属导体来说,在一定压力和温度下还会发生相变,这就使电阻率的变化复杂化,无法直接利用电阻率的变化来测量压力。
利用金属的压阻效应测量压力,必须选择一种金属材料,但其电阻率ρ 仅仅随压力P 而变化,而因温度引起的电阻率ρ 的变化可以忽略,只有这样才能实现利用金属电阻率的变化来测量压力变化的目的。
因此对用于制造这类压力传感器金属材料的要求是:
(1)由压力引起的电阻率的变化比由温度引起的电阻率的变化大得多,以致由温度引起的电阻率的变化可以忽略;
(2)为便于测量和分析,在动态压力作用下,该材料不会发生相变;(www.xing528.com)
(3)为了在很细金属丝或很薄(金属箔)、很短(仅几十毫米)的材料中得到足够大的电阻率,要求材料的电阻率高,而且随着压力的变化,电阻值的变化也要大。
锰铜是一种符合以上要求的最为理想的材料,它的温度系数α =2 ×10 -5/℃,比一般导体的温度系数α=5 ×10 -3/℃小2 个数量级;并且在动态压力下不会发生相变;在很短的丝或箔中电阻值很大,并且随着压力的增加,电阻率同时增大。
锰铜的电阻值R 为
锰铜的电阻率ρ 为
在严格的一维平面应力作用情况下,受压缩的只是锰铜丝的侧面尺寸,即长度l 是不变的。除ρP 变化外,横截面积A 也随压力而变化,并且( A0 和A 为压缩前后截面积,V0 和V 为压缩前后体积):
式中,ΔR = R- R0 。在一维压缩情况下,锰铜的电阻率相对变化和电阻值相对变化都仅仅是压力的函数,实验证明体积变化的影响很小,上式可改写为
式中,Kb 为锰铜的压阻系数,它与材料成分及传感器形状有关。只要测得锰铜的压阻系数Kb,由所测得就可直接得出被测压力。
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