【摘要】：如图6-18所示为Bi0.4Sb1.6Te3薄膜和Sb2Te3薄膜的XRD衍射谱图。Bi0.4Sb1.6Te3薄膜的颗粒尺寸达到79.94 nm，约为Sb2Te3薄膜颗粒尺寸的2.2倍。这可能归因于较大的Bi原子引入到Sb2Te3的晶格位后抵消了薄膜内部分的收缩应力，使晶格结构更加稳定，从而促进微晶的生长。图6-18XRD衍射谱图Bi0.4Sb1.6Te3；Sb2Te3对制备的Bi0.4Sb1.6Te3薄膜进行了透射电子显微镜检测。明亮的六角对称选区电子衍射模式显示出微晶具有良好的单晶结构，这清楚地表明Bi原子被成功引入到了Sb2Te3的Sb晶格位点，形成了代位掺杂的薄膜。
如图6-18所示为Bi0.4Sb1.6Te3薄膜和Sb2Te3薄膜的XRD衍射谱图。Sb2Te3薄膜所有明显的衍射峰对应斜方六面体相（JCPDS 15-0874，R3m），薄膜具有（00l）取向。Bi0.4Sb1.6Te3薄膜的颗粒尺寸达到79.94 nm，约为Sb2Te3薄膜颗粒尺寸（36.24 nm）的2.2倍。这可能归因于较大的Bi原子引入到Sb2Te3的晶格位后抵消了薄膜内部分的收缩应力，使晶格结构更加稳定，从而促进微晶的生长。增强的结晶度可以通过Bi0.4Sb1.6Te3薄膜更尖锐和更强的衍射峰信号反映出来。
图6-18 XRD衍射谱图
（a）Bi0.4Sb1.6Te3；（b）Sb2Te3
对制备的Bi0.4Sb1.6Te3薄膜进行了透射电子显微镜（TEM）检测。将沉积到Si基片上的薄膜刮下来，用无水乙醇冲到测试用的铜网上，然后使其自然干燥，获得检测样品。如图6-19所示分别是Bi0.4Sb1.6Te3薄膜的低倍和高倍TEM图像，图6-19（a）右上方小图为选区电子衍射图，检测区域在图中用白色的圆圈标记。明亮的六角对称选区电子衍射模式显示出微晶具有良好的单晶结构，这清楚地表明Bi原子被成功引入到了Sb2Te3的Sb晶格位点，形成了代位掺杂的薄膜。从图6-19（b）可以清楚地看到明显的晶格条纹，相邻条纹的间距大约为0.332 nm，是Sb2Te3的（2011）晶面。(www.xing528.com)
图6-19 Bi0．4Sb1．6Te3薄膜的TEM图像
（a）低倍（12 000倍）；（b）高倍（500 000倍）
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