【摘要】：表6-2不同厚度的Sb2Te3薄膜的峰参数图6-11为121 nm厚的Sb2Te3薄膜表面的SEM图，EDS分析显示所有的样品都具有名义上的化学计量比，其中Te原子含量约等于60%。对应的表面粗糙度分别为9.69 nm、8.58 nm和2.85 nm。随着薄膜厚度增加，微晶不断增长使得它们之间的界面不断缩小，所以表面粗糙度减小。图6-11Sb2Te3薄膜表面SEM图图6-12不同厚度Sb2Te3薄膜AFM三维图
图6-10（a）为不同厚度的（00l）定向Sb2Te3薄膜的广角XRD衍射图，由于Si（111）基片的本征峰太强，在XRD衍射模式中纵坐标取衍射强度的对数值，避免薄膜的衍射信号峰被掩盖掉。如图6-10（b）所示为根据XRD衍射模式计算出来的薄膜颗粒尺寸随厚度的变化关系。
图6-10 薄膜XRD图谱与晶粒尺寸
（a）不同厚度Sb2Te3薄膜的XRD衍射图；（b）颗粒尺寸随厚度的变化关系
表6-2 不同厚度的Sb2Te3薄膜的峰参数
图6-11为121 nm厚的Sb2Te3薄膜表面的SEM图，EDS分析显示所有的样品都具有名义上的化学计量比，其中Te原子含量约等于60%。同时对制备的样品进行AFM测试，如图6-12所示为67 nm、98 nm和121 nm厚的Sb2Te3薄膜的AFM三维图，所有图像的测试范围都为5μm×5μm。从图6-11中可以看出随着厚度的增加薄膜表面的粗糙度不断地减小，越厚的薄膜其表面不连续层的厚度越小。对应的表面粗糙度分别为9.69 nm、8.58 nm和2.85 nm。随着薄膜厚度增加，微晶不断增长使得它们之间的界面不断缩小，所以表面粗糙度减小。(www.xing528.com)
图6-11 Sb2Te3薄膜（121 nm）表面SEM图（放大倍数为100 000）
图6-12 不同厚度Sb2Te3薄膜AFM三维图
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