【摘要】：图6.6-1所示为一部手持式超声抛光机，超声波发生器1输出高频电压给换能器2，换能器产生机械振动，然后经变幅杆3放大后，传给工具头4。
超声抛光是把具有适当输出功率（50～1000W）的超声振动系统产生的超声振动能量附加在抛光工具或被抛光工件上，从而使工具或工件以一定的频率（20～50kHz）和一定的振幅（5～25μm）进行超声频机械振动摩擦，达到为工件抛光目的的表面光整加工方法。
6.6.1.1 超声抛光的基本装置和工艺效果
超声抛光装置由超声波发生器、换能器、变幅杆和工具等组成。图6.6-1所示为一部手持式超声抛光机，超声波发生器1输出高频电压给换能器2，换能器产生机械振动，然后经变幅杆3放大后，传给工具头4。工具头在压力P的作用下在工件5表面作高速摩擦。由于超声振动的作用，使工件表面的微小突起部分被磨去的同时，微细沟槽又不会被磨削形成的粉屑充塞，直至工件表面被加工到一定的平整度。
超声抛光工具分为两类：一类是具有磨削作用的磨具，如烧结金刚石、电镀金刚石、烧结刚玉油石等；另一类是没有磨削作用的工具，如金属棒、木片、竹片等。使用时通常要另加磨料。
无论使用哪一类工具，所使用的磨料硬度必须高于工件的硬度。
超声抛光具有如表6.6-1所列的工艺效果。
图6.6-1 超声抛光原理示意图
1—超声波发生器 2—换能器 3—变幅杆 4—工具头 5—工件(www.xing528.com)
表6.6-1 超声抛光的工艺效果
表6.6-2 腐蚀量测量结果比较
6.6.1.2 超声抛光的分类
按照超声抛光设备的工作特点，超声抛光可分为三种主要类型，如表6.6-3所示。
表6.6-3 超声抛光的主要类型
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