超短脉冲激光的微细加工是指激光输出的脉冲宽度

超短脉冲激光的微细加工是指激光输出的脉冲宽度≤10^-9s的加工。激光输出的脉冲宽度向着越来越窄的方向发展，脉冲宽度从纳秒、皮秒发展到目前的飞秒的变化，且正在向阿秒方向挺进，其发展变化大致可分为四个阶段，见表4.6-6。表4.6-7列出了常见固体飞秒激光增益介质的主要参数。

表4.6-6 超短脉冲激光发展变化的四个阶段

表4.6-7 常见固体飞秒激光增益介质的主要参数

4.6.2.1 飞秒激光加工的基本原理及特点

依据加工的激光脉冲宽度的长短，将脉冲激光分为长脉冲激光和短脉冲激光。在加工材料方面，它们最大的区别在于机制完全不同，长脉冲激光加工材料的过程表现为明显的热熔过程，热力学过程占据了主导地位；而短脉冲激光表现为非热熔过程，加工过程中材料的表面不会出现熔化区。表4.6-8给出了飞秒激光加工的原理及特点。

表4.6-8 飞秒激光加工的原理及特点

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4.6.2.2 飞秒脉冲激光的微细加工工艺及应用

飞秒脉冲激光以其独特的超短脉冲持续时间和超强峰值功率在各种材料领域的超精细、高质量加工方面展现了极其美好的应用前景，它完全打破了传统激光加工的极限，在机械、电子、医疗方面等多个领域已经得到了非常广泛的应用。表4.6-9给出了飞秒脉冲激光的微细加工典型应用。

表4.6-9 飞秒脉冲激光的微细加工典型应用

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