准分子激光微细加工技术

4.6.1.1 准分子激光加工的基本原理及特点

准分子激光器是发射紫外光的脉冲激光光源，其波长为紫外和深紫外光谱波段。准分子激光具有脉冲能量和光子能量较强、重复频度高、脉冲宽度窄等特点，大多数材料（包括金属和非金属材料）对其具有强烈的吸收作用，使其得到了广泛的应用。表4.6-3给出了准分子激光加工的原理及特点。

表4.6-3 准分子激光加工的原理及特点

对于微细加工用的准分子激光，一般要求平均功率为毫瓦级，单脉冲能量小于0.5J，表4.6-4列出了用于微细加工的准分子激光典型参数。

4.6.1.2 准分子激光微细加工工艺及应用

准分子激光的特性使得它在许多精密微加工领域，如微机械、微光学、微电子学和医学生物微元件的加工方面得到了广泛的应用，它可以完成用机械、化学或其他传统激光加工方法无法完成的任务。准分子激光微细加工的主要工艺方法包括打孔、光刻、切割、脆性材料的加工等。表4.6-5给出了准分子激光微细加工的典型应用。

表4.6-4 用于微细加工的准分子激光典型参数(www.xing528.com)

表4.6-5 准分子激光微细加工典型应用

（续）

注：准分子激光还可用于准分子激光的缩微打标、无机材料的消融和蚀刻、聚合物的消融制作微型机械等，其加工尺寸都处于微米级、亚微米级。准分子激光的应用技术在电子行业也日趋扩大和成熟。如激光剥线，用准分子激光剥离连接微型电路50μm的漆包线的绝缘膜，而不对微型电路产生任何影响；又如，激光去除薄膜（高分子）、激光LIGA等。在材料制备方面，作为一个较新的方法，虽然目前处于研究阶段，但其发展前景良好，如激光化学气相沉积和溅射沉积制备纳米材料、准分子激光消融制备纳米粉体材料等技术