PMU技术指标分析

由于PMU可以对几乎所有类型的半导体器件进行测试，所以当应用PMU进行一项特定的测试时，需要考虑下列几项最主要的技术指标：

（1）工作电流范围

PMU覆盖了多个数量级的电流范围。通用小信号器件的测量需要从几个纳安到几百个毫安。然而，某些器件的测试可能需要PMU的电流范围位于亚皮安区，而功率器件的测试则要求有100A或更高的电流输出。

（2）工作电压范围

通常电压范围是从±1～±50V，能够满足大多数小信号半导体测试应用的需要。许多分立元件或高压集成电路需要电压范围达到1kV或更高。

（3）施加精度和测试精度

当用于测试精度为±1%的电压调节器时，PMU可能仅需要0.1%的电压测试精度，但对高精度参考电压源或高分辨率转换器进行测试时，则需要0.01%的电压或电流精度。(www.xing528.com)

（4）测试速度

在半导体生产中，测试效率高就能降低生产成本。因此，PMU的编程时间、稳定时间、测试时间、测试值返回时间都是非常重要的指标。许多半导体测试系统采用快速总线接口，能在几毫秒内完成参数测试。

（5）交流及瞬态性能参数

PMU将交流信号加到被测器件，由于大多数测试需要精确的电压或电流波形，所以应特别关注3dB带宽等交流性能指标。每种PMU在不同的动态负载条件下的动态性能都会有所不同。例如，在负载阻抗突然降低时将产生一个大到数安培的瞬态输出电流，超调量和负载阶跃的恢复期等参数在一些测试应用中也必须加以考虑。因此，也要关注PMU的瞬态与动态参数。

（6）浮置特性

大多数PMU都是以地电平为参考，其低端实质上是与测试地线相连。因此，在测试的1V电压若有很大共模电压时（例如，有90V的共模电压），由于必须将该仪器置于100V的大量程上，而感兴趣的部分只不过是该量程的1%，所以1V电压的测试比较困难。若PMU的输入端能浮置起来的话，那么它的施加和检测端低端就可以接到90V的电源上，并且仪器可以直接在它的1V量程内进行测试，从而实现高精度的测试。