分立器件种类繁多：分立器件综合测试仪

1.分立器件自动测试系统

分立器件种类繁多、使用灵活、应用广泛、成本低廉，相比集成电路器件具有大功率、高耐压、高频、高灵敏度与低噪声等优势，在很多应用领域中具有不可替代性。在整个半导体分立器件产品生产过程中，测试是重要和必要的生产工序。分立器件综合测试系统相比于传统的单参数或单类型器件的测试仪器，能测试的参数与器件种类更多、功能更强大，尤其是测试速度更高，在探针台和分选机的协同工作下，完成大规模生产线上分立器件的自动测试，提高测试质量和生产效率。例如，某分立器件测试系统每小时可以测试器件5000只。

以生产线的成品测试为例，分立器件自动测试示意图如图10-33所示，主要由分选机、测试仪、测试适配器和计算机等组成。分选机包括料斗、传送带、测试夹具、分选装置等。自动测试过程是大量的待测器件装入旋转的料斗，对器件自动排序，通过传送带顺序送到测试位置。每到位一只器件，测试夹具立刻夹紧分立器件引脚，分选机给测试仪发出可以测试的启动信号，测试仪开始测试，激励信号和被测信号经过测试适配器传给器件引脚，进行各项参数的测试。测试完毕，测试仪保存测试结果，同时给分选机发送测试结束命令和测试结果数据（包括是否合格、错误代码、分料盒号），分选机收到信号后，测试夹具首先松开器件引脚，把刚才测试的器件通过分选装置送入指定的分料盒，同时运送下一只待测器件到测试位置，再启动一次新的测试。如此循环，完成分立器件的自动测试和分选。分料盒按照不合格品、合格品进行分类，合格品还可根据参数的测试结果再分等级。

图10-33 分立器件自动测试示意图

2.分立器件综合测试仪功能

分立器件综合测试仪可以完成多种半导体分立器件如二极管、晶体管、MOS场效应晶体管、结型场效应晶体管、晶闸管、光耦合器等器件的大部分参数的测试。测试仪硬件总体组成框图如图10-34所示。测试仪的硬件系统主要由CPU板、低压恒压源/恒流源板、高压板/小电流板、脉冲大电流板、测试适配器、交流参数/时间参数测试板、分选机或探针台接口板及系统电源组成。测试仪的各个功能板均插在系统背板的插槽上，通过自定义的系统总线进行信号和数据交换。主要功能板简介如下：

1）CPU板：执行测试程序完成分立器件的自动化测试，通过统一的系统内部并行总线对其他功能板进行控制，完成与上位计算机的通信。此外CPU板直接通过总线产生控制信号来配置测试适配器的测试网络。(www.xing528.com)

2）低压恒压源/恒流源板：提供多个通道的低压程控恒压源与恒流源，并且具有精确测量电压和电流的功能，可以完成导通电压、饱和电压、导通电流、放大倍数等参数测试。

图10-34 测试仪硬件总体组成框图

3）高压板/小电流测试板：为测试系统提供上千伏的高压程控恒压源，进行低至皮安级甚至纳安级的小电流精确测量，完成多种器件的反向击穿电压及漏电流参数等的测试。

4）脉冲大电流板：提供可程控的大功率脉冲恒压源及恒流源，一般为几十安培甚至上百安培，同时具有脉冲电压和脉冲电流测量功能，主要完成大功率器件的指标测试。

5）交流参数/时间参数测试板：提供正弦交流信号源和快速脉冲信号源，能够测量正弦交流信号的电压和电流幅值，并且能够测量频率和时间间隔，主要完成半导体分立器件的交流放大倍数、阻抗、时间参数等测试，如开启上升时间、延时时间、下降时间。

6）测试适配板：板上配置不同的器件的参数测量电路和继电器网络，通过导通或断开不同的继电器，连接其他功能板上的测试资源，组成各个参数测试需要的测试电路，完成器件的自动测试。