【摘要】：固体受外力作用后，电阻率将发生显著变化，这种效应称为压阻效应。压阻式传感器就是利用这种效应制成的。压阻式传感器不仅可用于测量压力，还可测量加速度、转矩等变量。利用硅的压阻效应和集成电路技术制成的传感器具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型化和批量生产及使用方便等优点，是一种应用日益广泛，发展非常迅速的传感器。压阻式传感器的基本原理可以从材料电阻的变化率看出。
1.工作原理
随着固体物理学的发展，固体的多种效应被人们逐渐所认识。固体受外力作用后，电阻率将发生显著变化，这种效应称为压阻效应。压阻式传感器就是利用这种效应制成的。压阻式传感器不仅可用于测量压力，还可测量加速度、转矩等变量。
硅晶体有良好的弹性变形能和显著的压阻效应。利用硅的压阻效应和集成电路技术制成的传感器具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型化和批量生产及使用方便等优点，是一种应用日益广泛，发展非常迅速的传感器。(www.xing528.com)
压阻式传感器的基本原理可以从材料电阻的变化率看出。
设有一根长为l，截面积为A，电阻率为ρ的金属丝，其起始电阻为R，于是有
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