新型气体传感器技术详解

1.其他新型的气体传感器

还有一些气体非常重要，比如H2S、O2、O3、酒精等。

（1）H2S气体传感器

采用钨酸钠盐酸热解法制备WO3微粉中加入一定量的SnO2及ThO2等掺杂剂后，对H2S有很好的气敏性能；用ZnS在600℃烧结制得烧结型ZnO元件，对H2S气体不仅具有良好的敏感性，而且具有很高的选择性。

（2）O2气体传感器

对于氧气的检测方法有很多，如：固体电解质法，敏感材料有CaO-ZrO2、YF6、LaF3；TiO2烧结体或厚膜可以在高温下检测O2；有用钌（II）邻菲咯啉配合物作为指示剂，研制一种基于荧光猝灭原理的光纤氧气传感器，有较强的抗干扰能力、较好的重复性和稳定性。

（3）O3气体传感器

用反应溅射法、溶胶-凝胶法、CVD等沉积工艺制备了In2O3基的气敏薄膜，能够检测O3，WO3基气敏薄膜也成为主要的研究对象。(www.xing528.com)

（4）酒精气体传感器

用超声辐射结合溶胶-凝胶法合成的纳米氧化铟材料，用此材料制成的气敏元件，对酒精的气敏特性可以达到商品化的要求，可用于开发新型酒敏元件。

2.新型传感器工艺

在微电子和微机械迅速发展的基础上，基于MEMS的新型微结构气敏传感器，主要有硅基微结构气敏传感器和硅微结构气敏传感器。其中，硅基微结构气敏传感器是衬底为硅、敏感层为非硅材料的微结构气敏传感器，主要有金属氧化物半导体、固体电解质型、电容型、谐振器型；硅微结构气敏传感器主要是金属氧化物-半导体-场效应管（MOSFET）型和钯金属-绝缘体-半导体（MIS）二极管型。

MEMS技术将传感器与IC集成在一起，而且精度高、体积小、质量轻、功耗低、选择性高、稳定性高，同种器件之间的互换性高，可以批量生产。所以是传感器工艺的发展方向，而且基本所有的传感器都可以用MEMS技术生产。

随着MEMS技术和纳米技术的发展，将会给气敏传感器的发展提供更广阔的前景。同时实现传感器系列，并将有很大的发展空间，谱写传感器新的发展篇章。