【摘要】：电子束可用来加工不锈钢、耐热钢、宝石、陶瓷、玻璃等各种材料上的小孔、深孔。除此之外还可凭借偏转磁场的变化使电子束在工件内偏转方向加工出弯曲的孔，如图3-26所示。利用电子束配合工件的相对运动，可加工所需要的曲面，如图3-26所示。电子束加工的其他应用包括：用计算机控制对陶瓷、半导体或金属材料进行电子刻蚀加工；异种金属焊接；电子束热处理等。
电子束根据其功率密度和能量注入时间的不同，可分别用于打孔、切割、焊接、蚀刻、热处理和光刻等加工。
（1）电子束打孔。电子束可用来加工不锈钢、耐热钢、宝石、陶瓷、玻璃等各种材料上的小孔、深孔。最小加工直径可达0.003 mm，最大深径比可达10。如机翼吸附屏的孔、喷气发动机套上的冷却孔，此类孔数量巨大（高达数百万），且孔径微小，密度连续分布而孔径也有变化，非常适合电子束打孔；另外还可用电子束在塑料和人造革上打许多微孔，令其像真皮一样具有透气性。
一些合成纤维为增加透气性和弹性，其喷丝头型孔往往制成异形孔截面（图3-25），这类孔可利用脉冲电子束对图形扫描制出。除此之外还可凭借偏转磁场的变化使电子束在工件内偏转方向加工出弯曲的孔，如图3-26（a）所示。
图3-25 用电子束加工的孔
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图3-26 电子束加工弯孔、曲面
（a）加工弯孔；（b）加工曲面
（2）电子束切割。电子束可对各种材料进行切割，切口宽度仅有3～6 μm。利用电子束配合工件的相对运动，可加工所需要的曲面，如图3-26（b）所示。
（3）光刻。当使用低能量密度的电子束照射高分子材料时，将使材料分子链被切断或重新组合，引起分子量的变化（即产生潜象），再将其浸入溶剂中，即可将潜象显影出来。把这种方法与其他处理工艺结合使用，可实现在金属掩膜或材料表面上刻槽。
（4）其他应用。电子束加工的其他应用包括：用计算机控制对陶瓷、半导体或金属材料进行电子刻蚀加工；异种金属焊接；电子束热处理等。
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