【摘要】：超声波加工是利用工具端面作超声频振动，通过磨料悬浮液加工硬脆材料的一种加工方法，其加工原理如图3-19所示。由此可见，超声波加工是磨料在超声波振动作用下的机械撞击和抛磨作用与超声波空化作用的综合结果，其中磨料的连续机械撞击是主要的。图3-19超声波加工原理
超声波加工是利用工具端面作超声频振动，通过磨料悬浮液加工硬脆材料的一种加工方法，其加工原理如图3-19所示。加工时在工具头与工件之间加入液体与磨料混合的悬浮液，并在工具头振动方向加上一个不大的压力，超声波发生器产生的超声频电振荡通过换能器转变为超声频的机械振动，变幅杆将振幅放大到0.01～0.15 mm，再传给工具，并驱动工具端面作超声振动，迫使悬浮液中的悬浮磨料在工具头的超声振动下以很大速度不断撞击、抛磨被加工表面，把加工区域的材料粉碎成很细的微粒，从工件上被打击下来。虽然每次打击下来的材料不多，但由于每秒钟打击16 000次以上，所以仍有一定的加工速度。此外，当工具端面以很大的加速度离开工件表面时，加工间隙中的工作液内可能由于负压和局部真空形成许多微空腔。当工件端面再以很大的加速度接近工件表面时，空腔闭合，从而形成可以强化加工过程的液压冲击波，这种现象称为“超声空化”。悬浮液受工具端部的超声振动作用而产生的液压冲击和空化现象促使液体钻入被加工材料的裂隙处，加速了工件表面的破坏，也促使悬浮液在加工间隙中循环，使变钝了的磨粒及时得到更换。
由此可见，超声波加工是磨料在超声波振动作用下的机械撞击和抛磨作用与超声波空化作用的综合结果，其中磨料的连续机械撞击是主要的。(www.xing528.com)
图3-19 超声波加工原理
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