薛晓洁 叶声华 孙长库
（天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 300072）
摘要：应用激光线结构光传感器，将视觉检测成功应用于栅状阵列器件的共面性测量中，建立了测量系统数学模型，提出了以三点法为基础的共面性评价方法，并对BGA芯片进行了相应的试验研究，取得了满意的结果。
关键词：栅状阵列器件 共面性 三点法
中图分类号：TH7
国家自然科学基金资助项目（69906001）。20000606收到初稿，20001113收到修改稿。(www.xing528.com)
Laser Visual Inspection System and Evaluating Method For Grid Array Device Coplanarity
XUE Xiaojie YE Shenghua SUN Changku
（State Key Lab of Precision Measuring Technology&Instruments，Tianjin University Tianjin 300072）
Abstract：Adopting line-structured laser sensor，successfully applies the visual inspection to the grid array device coplanarity measurement.With the mathematics model put forward，the evalua-ting method based on the three-point seating plane is presented，and corresponding experimental studies on the BGA chip coplanarity are carried out，which achieve sat isfactory results.
Keywords：grid array device coplanarity three-point seating plane method
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