光散射方法较其他方法有着独特的优点，它易实现自动测量，测量范围大，是目前最广泛采用的技术，也是今后微粒测量发展的方向，最新微粒测量技术的发展也主要在这个领域。
光散射是粒子与电磁波相互作用产生的现象，它可以用波动理论解释：微粒与电磁场相互作用，使波矢量发生变化。也可用量子理论解释：光子与微粒相互作用，发生能量交换，引起能级跃迁。光散射测量技术是一个广义的概念，包括一系列相对独立的技术及复杂的理论分析模型。这主要是由于从散射光的许多性质（例如，光振幅、位相、频率、偏振方向、传播方向、相干性、强度共振频率等）都可以得到粒子尺寸的信息。这些之间存在着依赖关系，当相互依赖的因素中的一个确定时，另一个因素就与粒子的特性有关。粒子的尺寸量级不同，起主要作用的因素不同，模型就不同，适用的理论公式就不一样。
目前较成熟的理论有：
（1）瑞利散射理论（它适于像空气分子一类的小粒子）。
（2）瑞利—高斯散射理论（适于比空气分子大些的粒子，像高分子）。
（3）夫琅和费衍射理论（适于直径d＞＞λ的圆盘形或球形粒子，其散射图像通常称为爱里斑）。
（4）谐振散射理论（入射电磁波与散射物质相互作用产生散射光强最大、最小的现象，当该现象不能用衍射或干涉现象解释时，就发生了谐振散射。仅适于尺寸一致均匀的球形微粒）。
（5）前向散射相干性衰减理论（当相干光经过微粒散射后，其相干性衰减，衰减程度由互强度函数MIF决定，它与接收器直径、颗粒尺寸及颗粒散射率有关。可测d＞10μm的微粒）。
主要技术包括：(www.xing528.com)
（1）强度作为传播方向函数的测量，即角度散射。
（2）强度作为位相函数的测量，包括激光干涉仪、全息、前向散射、计算机全息及衍射。
（3）频率与传播方向的关系，主要是多普勒频移测量技术。
（4）光子数与时间的关系，包括各种光子相关技术。
（5）粒子的挡光效应与粒子尺寸的关系。
（6）强度与显微准弹成像的关系。
（7）前向散射光相干性衰减。
（8）前向散射光随微粒尺寸参数的变化，发生强度共振的现象。
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