谐振式传感器的设计步骤优化方案

（1）设计分析以及数据整理

设计分析的目的是明确传感器设计的目标，合理地选择设计需要满足的设计准则，例如非线性度、灵敏度、输出输入特性等。应当首先考虑的是哪些特性必须保证、哪些参数可以自行拟定。

整理数据的目的是找出各个指标之间的内在影响，并通过机构参数表达出来。例如将非线性误差作为主要影响参数时，就必须保证其指标符合设计准则，并尽可能地将电路和各个参数与非线性误差联系起来。

（2）选定传感器的类型和测量电路

传感器的类型一般依据被测量的输入形式、大小和使用要求确定，例如测量范围、灵敏度、线性范围等。而测量电路的选择主要根据传感器的种类、用途、灵敏度、精度和输出形式等要求确定。

（3）谐振敏感元件的结构设计

谐振敏感元件是谐振式传感器的核心，功能是将被测量转换为电信号。因此，根据被测量的不同以及传感器的使用条件，设计谐振敏感元件的结构形式和大小尺寸。(www.xing528.com)

（4）传感器的整机结构设计

整机结构设计需要满足传感器的使用要求，例如防水、防尘、抗电磁干扰、抗振动和冲击、体积小、重量轻、结构整齐便于装配等要求。

（5）补偿设计

某些传感器在实际工程应用中，其技术指标和性能会受到外界的变化造成传感器检测的误差，因此传感器设计中需要考虑补偿设计。例如在传感器的设计中，可通过在电路设计中加入温度补偿结构装置，即采用专用的传感器信号调理芯片实现温度补偿，可使传感器的检测精度不受外界温度影响。

（6）样机研制和性能测试

为验证传感器的可靠性可制作几台样机进行性能测试，将检测结果进行误差分析，判断其是否满足需求，以及是否符合设计准则的要求，如线性度是否良好以及精度是否达标。