【摘要】：谐振式传感器的机理源自敏感元件的谐振特性，当传感器工作于谐振状态时，此时的工作系统能量损耗最低，对环境参数的变化也可起到很好的调节作用。谐振式传感器的机械振动系统特有的高机械品质因数Q值，使得维持系统振动的能量大大降低，从而降低了热损耗和由此产生的测量误差。
谐振式传感器的机理源自敏感元件的谐振特性，当传感器工作于谐振状态时，此时的工作系统能量损耗最低，对环境参数的变化也可起到很好的调节作用。因此，谐振式传感器具有如下特点：
①输出为数字量信号，与数字控制器直接进行对接，不用A/D或V/F数字电路转换，在性能上较其他传感器有较大的提升；
②输出的频率型信号是周期的，不会因传输而失真，适合长距离传送，抗干扰性强；
③谐振式传感器的系统是一个闭环系统，当处于谐振状态时，可实现传感器信号的自动跟踪；
④传感器机械结构为整体式，无活动元件，可靠性高、稳定性好，电路结构简单，易于实现；(www.xing528.com)
⑤谐振敏感元件的固有谐振特性，使其具有精度高、分辨率高的优点；
⑥功耗低、误差小。谐振式传感器的机械振动系统特有的高机械品质因数Q值，使得维持系统振动的能量大大降低，从而降低了热损耗和由此产生的测量误差。
谐振式传感器的谐振子是实现被测量变化和频率变化的关键元件，对材料的质量要求较高，且设计要求也不同，从而导致加工工艺变得更加复杂，使生产周期变长，成本变高；另外，传感器输出频率与被测量往往是非线性关系，需要对转换电路进行校正处理，减小非线性误差，如此才能保证良好的精度。
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