激光清洗(LaserCleaning)是指采用高能激光束照射工件表面,使表面的污物、锈斑或涂层发生瞬间蒸发或剥离,高速有效地清除清洁对象表面的附着物或涂层从而达到洁净的工艺过程。激光清洗过程实际上是激光与物质相互作用的过程,它在很大程度上取决于污染物质在固体表面上的吸附方式。
一般来说,污染物质在器件表面的吸附力有三种,即范德瓦尔斯力、毛细力和双层静电力。范德瓦尔斯力是微米级污染物的主要附着方式,它起因于一个物体中的瞬时偶极矩和另一个物体中感生的偶极矩之间的相互作用;毛细力来自于很薄的液体层在粒子和基体之间的微小空隙处产生的凝聚力;双层静电力是粒子和基体之间由于出现电荷的输运而使得两者带有异号电荷,从而产生的相互吸引的力。因此,这些吸附力都与粒子的直径有关,其数值都比其重力大几个数量级。随着粒子尺度的减小,这些力呈很慢的线性衰减。粒子的尺度越小,清除它所需的加速度就越大。因此,常规清洗方法难以清除尺度如此小的污染物。
传统清洗工业有各种各样的清洗方式,多是利用化学药剂和机械方法进行清洗。在我国环境保护法规要求越来越严格、人们环保和安全意识日益增强的今天,工业生产清洗中可以使用的化学药品种类将变得越来越少。如何寻找更清洁巨不具损伤性的清洗方式是我们不得不考虑的问题。激光清洗具有无研磨、非接触、无热效应和适用于各种材质的物体等清洗特点,不需要任何破坏臭氧层的有机溶剂,无污染,无噪声,对人体和环境无害,是一种“绿色”清洗技术。同时,激光清洗可以解决采用传统清洗方式无法解决的问题。例如,工件表面粘有亚微米级的污染颗粒时,这些颗粒往往粘得很牢,常规的清洗办法不能够将它去除,而用纳米激光辐射工件表面进行清洗则非常有效。另外,由于激光是对工件进行无接触清洗,对精密工件或其精细部位清洗十分安全,可以确保其精度。所以激光清洗在清洗行业中独具优势。
激光清洗具有如下优点:
1)选择性清除污物,不损伤被清洗物体本身。(www.xing528.com)
2)定位准确,范围可控,甚至能够清除纳米级的微粒。
3)实时控制和反馈,除污作业自动化。
4)多用途,能够清除多种类型的污物巨效果良好。
5)高效率,低成本,无耗材。
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