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半导体化合物气体的安全技术规程

时间:2023-06-22 理论教育 版权反馈
【摘要】:3)遇空气、氧气引起爆炸。8)备水、1211灭火器、吸收中和剂。3)与水银接触形成爆炸性混合物。7)备水、1211灭火器。4)与氟化合可发生爆炸。5)与卤素发生剧烈反应。2)专人操作,严格按规程操作。5)气瓶阀门关不紧时迅速将瓶移至室外安全处慢慢放空。3)有毒,对呼吸道、眼、支气管有刺激性,可引起肺气肿。7)备灭火器、高纯氮气、煤油、95%工业乙醇。

半导体化合物气体的安全技术规程

1.硅烷(SiH4

(1)危险性

1)浓度3%时自燃。

2)在空气、氯气中能发生爆炸性燃烧。

3)遇空气、氧气引起爆炸。

4)对呼吸道、皮肤有刺激性。

(2)防护措施

1)禁烟火。

2)通风。

3)经常检查瓶阀、管道系统密封是否良好。

4)穿戴使用防毒护品(具)。

5)氮气保护。

6)备灭火器

(3)泄漏处理

1)穿戴使用防毒护品(具)。

2)系统充氮气。

3)喷水。

4)切断气源。

5)气瓶阀门关不紧时迅速通知主管部门处理。

(4)急救措施

1)眼、皮肤接触用大量水冲洗。

2)脱离现场到空气新鲜处。

3)就医。

(5)灭火处理

1)容器降温。

2)系统充氮气。

3)切断气源。

4)使用1211灭火器。

(6)禁忌物/禁忌 强氧化剂、抗醇灭火剂。

2.磷烷(PH3

(1)危险性

1)对神经系统、心、肝、肾有损害。

2)暴露在空气中能自燃。

3)遇明火、高热极易燃料爆炸。

4)接触可灼伤眼、皮肤。

(2)防护措施

1)严格按规程操作。

2)禁烟火。

3)穿戴使用防毒护品(具)。

4)通风,滤毒。

5)氮气保护。

6)经常检查瓶阀、管道系统密封是否良好。

7)避禁忌物和禁忌。

8)备水、1211灭火器、吸收中和剂。

(3)泄漏处理

1)无关人员撤离现场。

2)切断火源。

3)穿戴使用防毒护品(具)。

4)切断气源。

5)强力通风。

6)气瓶阀门关不紧时迅速通知主管部门,同时将钢瓶移室外进行安全处置——吸收中和剂(高锰酸钾硫酸水溶液)。

7)禁排入下水道

(4)急救措施

1)脱离现场到空气新鲜处。

2)立即就医。

(5)灭火方法

1)喷水冷却容器。

2)系统充氮气。

3)切断电源

4)使用1211灭火器。

(6)禁忌物/禁忌 空气、氧化剂、氯酸、卤化烃/潮湿。

3.氨(NH3

(1)危险性

1)具有强烈刺激性。

2)遇明火、高热能引起燃烧爆炸。

3)与水银接触形成爆炸性混合物。

(2)防护措施

1)通风。

2)穿戴使用防毒护品(具)。

3)与卤素(氟、氯、溴)、酸类等分开放置。

4)对气瓶、系统经常进行检漏。

5)气瓶架固定。

6)禁用易产生火花的工具。

7)备水、1211灭火器。

(3)泄漏处理

1)无关人员撤离现场。

2)穿戴使用防毒护品(具)。

3)切断气源。

4)高浓度泄漏喷含盐酸的水中和、稀释、溶解。

5)强力通风。

(4)急救措施

1)脱去污染衣物,用流动清水冲洗。

2)脱离现场到空气新鲜处。

3)就医。

(5)灭火方法 用1211灭火器。

(6)禁忌物/禁忌 强氧化剂、金、银、钙、次氯酸、漂白剂、卤素/烟火。

4.氢气(H2

(1)危险性

1)高浓度可引起窒息、麻醉。

2)遇明火能引起爆炸。

3)与空气、氧气、甲烷混合有燃烧爆炸的危险。

4)与氟化合可发生爆炸。

5)与卤素发生剧烈反应。

(2)防护措施

1)通风、禁烟火、静电

2)专人操作,严格按规程操作。

3)使用防毒护品(具)、防爆电器和工具。

4)对气瓶、系统定期检验、检漏。

5)配氢气报警器

6)系统装回火器。

7)备氮气、水、1211灭火器。

(3)泄漏处理

1)通风。

2)禁止一切明火。

3)使用防毒护品(具)、防爆工具。

4)系统充氮,无明火或切断气源。

5)气瓶阀门关不紧时迅速将瓶移至室外安全处慢慢放空。

(4)急救措施

1)脱离现场到空气新鲜处。

2)就医。

(5)灭火方法 关小气源、系统充氮气、1211灭火器灭火、关闭阀门。

(6)禁忌物/禁忌 氧、臭氧、氧化亚氮、甲烷、氟、氯/高温、明火、静电火花。

5.三氟化硼(BF3

(1)危险性

1)容器受热、压力增加有爆炸危险。

2)湿气体有强腐蚀性。

3)遇水迅速分解。

4)气体和烟雾对皮肤、眼睛、呼吸道有刺激性,吸入可中毒窒息。

(2)防护措施

1)专人操作,严格按规程操作。

2)通风。

3)使用防毒护品(具)。

4)系统密闭,定期检漏。

5)与强碱、碱土金属、烷基氨、氧化钙和水分开放置。

6)备水、吸收中和剂(苛性钾等碱性溶液)、灭火器。

(3)泄漏处理

1)撤离周围无关人员。

2)使用防毒护品(具)。

3)切断气源。

4)喷水雾稀释。

5)强力通风。

6)如瓶阀关不死,将钢瓶置于吸收剂溶液中。

(4)急救措施

1)皮肤等接触部位立即用水冲洗。

2)脱离现场到空气新鲜处。

3)就医。

(5)灭火方法 喷水、使用1211灭火器。

(6)禁忌物 强碱、碱土金属、烷基氮、氧化钙、水。

6、三氯氢硅(BF3

(1)危险性

1)遇高温分解放出氯化物有毒烟雾。

2)遇水和水蒸气产生有毒、腐蚀性烟雾。

3)与氧化剂反应有燃烧爆炸危险。

4)遇明火强烈燃烧。

5)具有刺激性。

(2)防护措施

1)严禁烟火。

2)穿戴使用防毒护品(具)。

3)通风柜内严格按规程操作。

4)避禁忌物和禁忌。

5)备灭火器、吸收中和剂(水、碱性水溶液)。

(3)泄漏处理

1)无关人员撤离现场。

2)切断火源。

3)使用防毒护品(具)。

4)现场通风,站上风向。

5)用水、碱性水溶液吸收中和,收集于密闭容器中待处理。

6)勿触摸泄漏物。

7)禁直接排入下水道。

(4)急救措施

1)眼、皮肤等接触部位立即用水冲洗。

2)吸入者脱离现场到空气新鲜处。

3)就医。

(5)灭火方法 使用灭火剂。

(6)禁忌物/禁忌 酸类、碱类、水、氧化剂/烟火。

7.三甲基[Ga(CH3)3]

(1)危险性

1)能在空气中自燃。

2)遇水发生爆炸。

3)有毒,对呼吸道、眼、支气管有刺激性,可引起肺气肿

4)皮肤接触可被灼伤。

(2)防护措施

1)专人操作,严格按规程操作。

2)在高纯氮气保护下装、卸料。

3)通风。

4)系统密闭,定期检漏。

5)穿戴使用防毒护品(具)。

6)避禁忌物和禁忌。

7)备灭火器、高纯氮气、煤油、95%工业乙醇。(www.xing528.com)

(3)泄漏处理

1)无关人员撤离现场。

2)切断火源。

3)使用防毒护品(具)。

4)现场通风,站上风向。

5)高纯氮气保护。

6)添加煤油覆盖,滴加95%工业乙醇稀释到流动性良好后装入废液桶中统一处理。

7)禁直接排入下水道。

(4)急救措施

1)眼、皮肤等接触部位立即用水冲洗。

2)就医。

(5)灭火方法

1)系统充氮气。

2)使用1211灭火器。

(6)禁忌物 水、氧、空气、酸。

8.三甲基铟

(1)危险性

1)能在空气中自燃。

2)遇水发生爆炸。

3)有毒,对呼吸道、眼、支气管有刺激性,可致肺水肿,皮肤接触可被灼伤。

(2)防护措施

1)专人操作,严格按规程操作。

2)防火防爆。

3)在高纯氮气保护下装、卸料。

4)通风。

5)系统密闭,定期检漏。

6)使用防毒护品(具)。

7)避禁忌物和禁忌。

8)备高纯氮气、灭火器。

(3)泄漏处理

1)无关人员撤离现场。

2)用高纯氮气保护。

3)使用防毒护品(具)。

4)现场通风。

5)沙土覆盖并收集在容器中待处理。

6)禁排入下水道。

(4)急救措施

1)眼、皮肤接触用水冲洗。

2)脱离现场到空气新鲜处。

3)就医。

(5)灭火方法

1)系统充氮气。

2)使用1211灭火器。

(6)禁忌物 水、氧、空气、酸。

9.三甲基铝[Al(CH3)3]

(1)危险性

1)能在空气中自燃。

2)遇水发生爆炸。

3)分解时放出有毒气体

4)对呼吸道、眼、支气管有刺激性,皮肤接触可被灼伤。

(2)防护措施

1)专人操作,严格按规程操作。

2)防火防爆。

3)在高纯氮气保护下装、卸料。

4)通风。

5)系统密闭,定期检漏。

6)使用防毒护品(具)。

7)避禁忌物和禁忌。

8)备高纯氮气、灭火器、煤油、95%工业乙醇。

(3)泄漏处理

1)无关人员撤离现场。

2)穿戴使用防毒护品(具)。

3)通风。

4)高纯氮气保护,添加煤油覆盖,滴加95%工业乙醇稀释到流动性良好后装入废液桶中待处理。

5)禁排入下水道。

(4)急救措施

1)眼、皮肤接触用水冲洗。

2)脱离现场到空气新鲜处。

3)就医。

(5)灭火方法 使用1211灭火器。

(6)禁忌物 水、氧、空气、氧化剂、酸、卤化烷烃类、不饱和烃气体、醇类、烷类。

10.砷(As)

(1)危险性

1)遇火可产生有毒气体。

2)长期接触影响神经系统及血液系统。

3)对皮肤、呼吸道、消化道有刺激作用。

(2)防护措施

1)专人操作,严格按规程操作。

2)穿戴使用防毒护品(具)。

3)通风柜内操作、滤毒。

4)避禁忌物和禁忌。

5)备吸收剂。

(3)泄漏处理

1)穿戴使用防毒护品(具)。

2)避粉尘飞扬。

3)避直接接触。

4)将泄漏固体收入容器中;如为液体,则用吸收剂覆盖收入容器中待处理。

5)禁排入下水道。

(4)急救措施

1)眼接触用流动清水冲洗。

2)皮肤接触用肥皂水冲洗。

3)脱离现场到空气新鲜处。

4)就医。

(5)灭火方法

1)使用灭火器。

2)喷水。

(6)禁忌物 强氧化剂、酸、活泼金属、水。

11.砷烷(AsH3

(1)危险性

1)高毒,致癌,吸入可发生中毒。

2)具有溶血作用。

3)具有强还原性。

4)容器在高温下易爆,与空气混合有燃烧爆炸的危险。

5)有水存在时助长起火,遇火产生剧毒气体。

6)刺激眼、鼻、嘴、皮肤、呼吸道、黏膜。

(2)防护措施

1)专人操作,严格按规程操作。

2)严禁烟火。

3)穿戴使用防毒护品(具)。

4)容器定期检验。

5)系统密闭、通氮气、定期检漏。

6)配报警器,备吸收中和剂。

(3)泄漏处理

1)无关人员迅速撤离现场。

2)切断火源。

3)穿戴使用防毒护品(具)。

4)强力通风。

5)系统充氮气。

6)切断气源。

7)喷雾水稀释。

8)用稀释剂稀释和用中和剂中和。

(4)急救措施

1)脱离现场到空气新鲜处。

2)立即就医。

(5)灭火方法 使用1211灭火器。

(6)禁忌物/禁忌 强氧化剂、氯气、硝酸/明火、高温。

12.四氟化硅(SiF4

(1)危险性

1)容器受热有爆炸危险。

2)有水存在时因水解而有腐蚀性。

3)刺激黏膜等组织。

(2)防护措施

1)通风滤毒。

2)通风柜内操作,严格执行操作规程

3)使用防毒护品(具)。

4)系统密闭,定期检漏,容器定期检验。

5)备吸收中和剂(水、碱性溶液)、灭火器。

(3)泄漏处理

1)无关人员撤离现场。

2)通风。

3)穿戴使用防毒护品(具)。

4)站上风向,关闭气源。

5)若气瓶阀门关不紧,则将其移到吸收中和剂溶液中。

(4)急救措施

1)皮肤等接触部位用温水浸泡。

2)脱离现场到空气新鲜处。

3)立即就医。

(5)灭火方法

1)喷水冷却容器。

2)使用1211灭火器。

(6)禁忌物 酒精、水、热。

13.氯化氢(HCl)

(1)危险性

1)容器受热、压力增加有爆炸危险。

2)与金属反应产生氢气。

3)遇氰化物产生剧毒气体(HCN)。

4)刺激、腐蚀、灼伤皮肤、眼、呼吸道、消化道等。

(2)防护措施

1)专人操作,严格按规程操作。

2)穿戴使用防毒护品(具)。

3)通风滤毒。

4)避禁忌物和禁忌。

5)系统密闭,定期检漏。

6)钢瓶定期检验。

7)备吸收中和剂、灭火器、苛性碱等碱性水溶液。

(3)泄漏处理

1)无关人员撤离现场。

2)穿戴使用防毒护品(具)。

3)切断电源。

4)禁止直接喷水。

5)将容器移安全处,置吸收中和剂溶液中。

6)禁排入下水道。

(4)急救措施

1)眼、皮肤等接触部位立即用水清洗。

2)脱离现场到空气新鲜处。

3)立即就医。

(5)灭火方法 使用1211灭火器。

(6)禁忌物 氰化物、碱、金属粉末。

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