【摘要】：①MgF2性状：摩尔质量 62.32g／mol密度 3.13g／cm3堆积密度 0.9～1.2g／cm3外观 0.5～1mm无色透明块状晶体气味 无味水中溶解度 不溶于水（20℃）乙醇中溶解度 不溶于乙醇熔点 1266℃沸点 2239℃折射率 n=1.38衬底温度 250～300℃②制造工艺：氟化镁薄膜的性能取决于沉积方法和沉积工艺。热舟蒸发MgF2薄膜在不同的沉积温度时的紫外光学特性——波长越短，沉积温度对光学损耗的影响越大。因此，要取得优良的MgF2反射性能，尤其要注意沉积温度这一工艺参数的优化。
①MgF2性状：
摩尔质量 62.32g／mol
密度 3.13g／cm3
堆积密度 0.9～1.2g／cm3
外观 0.5～1mm无色透明块状晶体
气味 无味
水中溶解度 不溶于水（20℃）
乙醇中溶解度 不溶于乙醇(www.xing528.com)
熔点 1266℃
沸点 2239℃
折射率 n=1.38（550nm）
衬底温度 250～300℃
②制造工艺：
氟化镁薄膜的性能取决于沉积方法和沉积工艺。采用热舟蒸发方法，在高真空镀膜系统中沉积，氟化镁纯度标定99.999％，衬底真空度为2.7×10－3Pa，工作真空为4.9×10－3 Pa，残余气体为空气。采用的沉积工艺温度试验，依次为200℃、250℃、300℃、350℃，沉积速度为0.39nm／s，监控波长为780nm，薄膜光学厚度为1／4波长，采用Lambda900光谱测试仪，波长分辨率为0.08％／nm。为防止空气中的水、氧等对测量结果的影响，测量过程中充入高纯氮气，氮气流量在测量过程中保持在7～10L／min，光谱曲线测量范围为190～360nm，延伸到了真空紫外波段。不同沉积温度下薄膜的表面均方根粗糙度由VeeCo公司生产的WYKONT1100型光学轮廓仪进行测量。
热舟蒸发MgF2薄膜在不同的沉积温度时的紫外光学特性——波长越短，沉积温度对光学损耗的影响越大。因此，要取得优良的MgF2反射性能，尤其要注意沉积温度这一工艺参数的优化。另外，薄膜损伤阈值随沉积温度的升高而降低。
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