【摘要】:图5-23 金属蒸气初始能量对鞘层厚度的影响2.离子温度对弧后鞘层的影响图5-24给出了离子初始能量为1eV、2eV、5eV、10eV、20eV时鞘层厚度随时间的变化规律。其中开距为5mm;金属蒸气密度为1018/m3;离子密度为1017/m3;电子密度为2×1017/m3;TRV斜率为1kV/μs;电子、原子初始能量分别取3.5eV、0.2eV。图5-24 离子初始能量对鞘层厚度的影响表5-1给出了不同离子初始能量下鞘层发展至全部开距所需时间。
1.金属蒸气温度对弧后鞘层的影响
图5-23给出了鞘层厚度随金属蒸气初始热运动能量为0.1eV、0.2eV和0.5eV时鞘层厚度随时间的变化规律。其中开距为5mm;金属蒸气密度为1018/m3;离子密度为1017/m3;电子密度为2×1017/m3;TRV斜率为1kV/μs;电子、离子初始能量分别取3.5eV、2eV。从图中可以看出,金属蒸气初始运动能量对鞘层厚度的影响不大,无法区分各个条件下鞘层的变化曲线。
图5-23 金属蒸气初始能量对鞘层厚度的影响
2.离子温度对弧后鞘层的影响
图5-24给出了离子初始能量为1eV、2eV、5eV、10eV、20eV时鞘层厚度随时间的变化规律。其中开距为5mm;金属蒸气密度为1018/m3;离子密度为1017/m3;电子密度为2×1017/m3;TRV斜率为1kV/μs;电子、原子初始能量分别取3.5eV、0.2eV。从图中可以看出,在离子初始能量较小时,对鞘层发展影响不大;而在离子初始能量较大时,随着离子初始能量的升高,鞘层运动速度也变快。这是由于在离子能量较大时,离子与原子发生碰撞的碰撞截面变小,因此发生碰撞的概率变小,离子在运动过程中不容易损失能量,因此鞘层运动速度较快。(www.xing528.com)
图5-24 离子初始能量对鞘层厚度的影响
表5-1给出了不同离子初始能量下鞘层发展至全部开距(即5mm)所需时间。
表5-1 不同离子初始能量下的鞘层发展时间
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