透射电子显微镜中有三种主要光阑介绍

在透射电子显微镜中有三种主要光阑，它们是聚光镜光阑、物镜光阑和选区光阑。

1.聚光镜光阑

聚光镜光阑的作用是限制照明孔径角。在双聚光镜系统中，光阑常装在第二聚光镜的下方。光阑孔的直径为20～400μm。作一般分析观察时，聚光镜的光阑孔直径可用200～300μm；若作微束分析时，则应采用小孔径光阑。

2.物镜光阑

物镜光阑又称为衬度光阑，通常它被安放在物镜的后焦面上。常用物镜光阑孔的直径是在20～120μm范围。电子束通过薄膜样品后会产生散射和衍射。散射角（或衍射角）较大的电子被光阑挡住，不能继续进入镜筒成像，从而就会在像平面上形成具有一定衬度的图像。光阑孔越小，被挡去的电子越多，图像的衬度就越大，这就是物镜光阑又叫作衬度光阑的原因。加入物镜光阑使物镜孔径角减小，能减小像差，得到质量较高的显微图像。物镜光阑的另一个主要作用是在后焦面上套取衍射束的斑点（即副焦点）成像，这就是所谓暗场像。利用明暗场显微照片的对照分析，可以方便地进行物相鉴定和缺陷分析。

物镜光阑都用无磁性的金属（铂、钼等）制造。由于小光阑孔很容易受到污染，高性能的电镜中常用抗污染光阑或称自洁光阑，它的结构如图3―13所示。这种光阑常做成四个一组，每个光阑孔的周围开有缝隙，使光阑孔受电子束照射后热量不易散出。由于光阑孔常处于高温状态，污染物就不易沉积上去。四个一组的光阑孔被安装在一个光阑杆的支架上，使用时，通过光阑杆的分挡机构按需要依次插入，使光阑孔中心位于电子束的轴线上（光阑中心和主焦点重合）。(www.xing528.com)

图3―13　抗污染光阑

3.选区光阑

选区光阑又称场限光阑或视场光阑。为了分析样品上的一个微小区域，应该在样品上放一个光阑，使电子束只能通过光阑孔限定的微区。对这个微区进行衍射分析叫做选区衍射。由于样品上待分析的微区很小，一般是微米数量级。制作这样大小的光阑孔在技术上还有一定的困难，加之小光阑孔极易污染，因此，选区光阑一般都放在物镜的像平面位置。这样布置达到的效果与光阑放在样品平面处是完全一样的。但光阑孔的直径就可以做得比较大。如果物镜放大倍数是50倍，则一个直径等于50μm的光阑就可以选择样品上直径为1μm的区域。

选区光阑同样是用无磁性金属材料制成的，一般选区光阑孔的直径位于20～400μm范围之间，和物镜光阑一样它同样可制成大小不同的四孔一组的光阑片，由光阑支架分挡推入镜筒。