【摘要】：在试样的截面图由内部向表面拉一条直线，电子束沿该线扫描时同时采集各层元素的特征X射线，计算并在荧屏上显示出沿着扫描线该元素的分布，曲线的元素的浓度决定。让电子束在试样某区域内反复做光栅扫描，采集区域内所有元素的特征X射线，每采集一个特征X射线光子，在荧屏上的对应位置打一个亮点，收集的所有亮点即是该元素的面分布图。进行元素面分析时应注意如下几个问题。
点扫描是通过对材料表面某一特定点进行特征X射线收集，计算可得出存在的元素种类与各自的含量。线扫描可以提供样品中元素沿某条扫描线上的分布。例如：对试样表面涂层成分的确定。在试样的截面图由内部向表面拉一条直线，电子束沿该线扫描时同时采集各层元素的特征X射线，计算并在荧屏上显示出沿着扫描线该元素的分布，曲线的元素的浓度决定。
让电子束在试样某区域内反复做光栅扫描，采集区域内所有元素的特征X射线，每采集一个特征X射线光子，在荧屏上的对应位置打一个亮点，收集的所有亮点即是该元素的面分布图。越亮的部位表示元素含量越高，同理较暗的区域表示该部位此元素的含量较少。如果样品由多个元素组成，也可以同时得到每个元素的面分布图。
进行元素面分析时应注意如下几个问题。
（1）束流和计数率。一般采用较大的束流和计数率，与最小的脉冲处理时间，能使分布图有足够的计数积累，最终图像便于辨认。(www.xing528.com)
（2）样品表面形貌。由于低凹部位产生的X射线会被周围的起伏所阻挡，在分布图中出现黑区或阴影，但这并不意味低凹部位没有成分信息。
（3）X射线空间分辨率的影响，使界面“变宽”即分布图中元素集聚区的边界可能不清楚，可适当减小加速电压来改善边界的清晰度。
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