电子元器件无处不在,无论是日常的消费电子产品还是工业用电子设备,都是由基本的电子元器件构成的。电子元器件包括电子元件和电子器件两部分。电子元件包括电阻器、电容器、电感器,本身不产生电子,它对电压、电流无控制和变换作用,所以又称无源器件;电子器件包括晶体管、电子管、集成电路,本身能产生电子,对电压、电流有控制和变换作用(放大、开关、整流、检波、振荡和调制等),所以又称有源器件。电子元器件按照产品专业类别划分,大致可以分为电容器、电阻电位器、磁性材料与器件、电感器件、电子变压器、混合集成电路、电子陶瓷及器件、压电晶体、控制继电器、电接插元件、电声器件、微电机与组件、光电线缆、印制电路板、敏感元器件及传感器共十六个细分行业。我们以微电子集成电路、印刷线路板为例,简单介绍电子器件的传统制造技术。
以半导体单晶硅为衬底材料的微电子集成电路技术,是采用专门工艺技术将组成电路的元器件和互联线集成在芯片内部、表面的微型电路或系统,具有体积小、重量轻、引出线和焊接点少、寿命长、可靠性高、性能好等特点。但生产过程极其复杂,从单晶硅衬底材料的制备,到在硅单晶上形成晶体管与互联线所需的薄膜沉积、光刻、刻蚀、封装等工艺技术,所涉及工艺步骤多达数百道,设备投资大,并需要配备超净间。例如,大规模集成电路要经过约十次光刻才能完成各层图形的全部传递。(www.xing528.com)
印刷线路板(Printed Circuit Board,PCB)是电子行业中最重要的电子部件,通常把在绝缘材料上按预定设计制成印制线路、印制元件或两者组合而成的导电图形称为印制电路;而在绝缘基材上提供元器件之间电气连接的导电图形,称为印制线路;印制电路或印制线路的成品板称为印制线路板,亦称为印制板或印制电路板。在印制电路板行业,采用传统的铜箔蚀刻法制造PCB配线,技术过程非常复杂,如图2-1所示,需要经过覆铜、曝光、显影、蚀刻等过程而形成配线,且目前的技术已经达到线宽的极限,无法再提高布线密度。单面PCB是只在绝缘基板的一面有导电图形的印制板,制备流程包括:单面覆铜箔层压板→丝网印刷图形→化学腐蚀铜→碱、酸清洗→印刷阻焊油墨→冲切孔与外形→涂覆助焊剂→检查、包装。多层PCB是由交替的导电图形层及绝缘材料层层黏合而成的一块印制板,导电图形的层数在两层以上。由于层与层之间的线路需要导通,所以制备过程比单面PCB增加了钻孔、镀金等工艺。这种铜箔蚀刻法采用酸液腐蚀铜板产生大量废液,会造成环境污染,而且基板上90%以上的铜被腐蚀去除,造成材料浪费。
以上电子器件的传统制备工艺,属于减法制造工艺,步骤烦琐、设备成本高、材料浪费大,且污染环境。为此,科学家经过几十年不断的研究探索,提出以有机半导体材料代替传统的无机半导体材料,并通过加法制造工艺制备新型电子器件。例如,通过印刷方式将导电材料、半导体材料、介电材料以墨水或油墨形式逐层沉积,形成场效应晶体管的源漏电极、栅极、半导体层、介电层。
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