移相干涉测量的仪器简介

美国ZYGO公司的Mark Ⅳ型干涉仪是目前商品化的、功能最为齐全的精密干涉测量仪器，我国已引进多台。干涉仪主机部分就是一台卧式的菲索干涉仪，所不同的是主机上多了一个移相机构。移相机构的内部装有压电陶瓷堆移相器件，配有专用的控制与驱动电路，由此产生多幅移相干涉图。主机内有光电二极管列阵（CID）摄像机，像素为244×388，故保证了高密度的数据采集，由监视器实时显示对准状态和变焦放大的干涉图形。由主机直接提供的通光孔径为100 mm，如在主机外搭上一种多路转换立方体和大孔径扩束器，便可以提供直径为300 mm、450 mm、600 mm和800 mm的大通光孔径。此外，还有各种被测件的夹持机构构成了干涉仪的主体部分，它们均安放在一个蜂窝状的隔震平台上，可以积木式组合配置，以适应检测各种试样的要求。

干涉仪除了主体部分外，它的微机及其辅助设备均放在一张终端桌上。计算机主机是HP Apollo 9000系列机，配有屏幕尺寸为400 mm的高分辨率（1 280×1 024）彩色显示器、键盘、鼠标器等，并有仪器电源和磁带机。主机接口IEEE−488支持各种输出设备，可以方便快速地选择多种处理与显示方式，并可以存储、提取和处理外存的测量数据。例如，启动宝丽来即影装置，可立即获得静电复制的干涉图片，也可以通过打印机复制彩显屏幕上显示的全部测量信息。仪器配有功能很强的数据处理软件，可提供波面图及其波差峰谷值PV和均方根值RMS、点扩散函数PSF、调制传递函数MTF，以及Zernike像差系数等。数据处理器对用户是可编程的，使操作者按特定的测量任务修正测量的过程，包括对采集数据的进一步拟合与处理。(www.xing528.com)

总之，Mark Ⅳ型干涉测量仪器是设计成模块式的，它由各种规格的硬件和软件模块构成了一个灵活、方便和精密的干涉测量系统。其附件品种齐全、质量高，如λ/20的标准平晶、λ/10的标准球面镜。仪器的不确定度（峰谷值误差）达λ/50。通常用1.5 mW的He−Ne激光器，波长λ=632.8nm，激光头可在现场置换。