平面度检测方法及其应用

在零件的加工的制造过程中，平面度就客观地存在着。平面度公差是指实际被测平面对理想平面的允许变动量。测得平面度误差在其公差带范围内时，认为该零件为合格零件。检测平面度常用以下几种方法：

1.间隙法

间隙法测量平面度误差是指用刀口尺或平尺在实际被测平面上沿多个方向测量直线度误差。测量截面图如图8-4所示。取测得的各截面轮廓的直线度误差值中的最大值作为被测平面的平面度误差值。间隙法适用于小平面的测量。

2.测微仪测量法

如图8-5所示，用3个可调支承将被测件支撑在标准平板上，用测微仪指示。调整可调支承，用三点法或四点法进行测量。三点法是在被测平面上选取相距尽量远的3点，调整可调支承使这3点与标准平板等高；四点法是调整可调支承使这两对角线与标准平板平行。然后用测微仪读出被测表面上各点的最大与最小读数之差作为平面度误差值的测量结果。因受标准平板的精度和尺寸的限制，所以可用于在车间检测较低精度、中等尺寸的工件。

图8-4 测量截面布置

图8-5 测微表法光轴法

如图8-6所示，光轴法测量平面度误差是利用准直类仪器2，以它的光轴经转向棱镜3扫描的平面作为测量基准，将瞄准靶1放置在实际被测平面4上，接选定的布点，测出各测点相对于该测量基准的偏离量，再经数据处理评定平面度误差值。(www.xing528.com)

仪器可以安放在被测平面上，也可以安放在被测平面的外边。测量时，先调整被测平面上任意三远点分别至测量基准的距离相等或大致相等，然后将扫描靶逐点移动到选定的测点上进行测量，同时记录各测点的示值（即各测点相对于测量基准的Z坐标值）。再把这些数值进行数据处理以评定平面度误差值。光轴法适用于测量平面度公差等级不高的大平面。

图8-6 光轴法测量平面度误差

1—瞄准靶 2—准直仪

3—转向棱镜 4—被测平面

3.平晶干涉法

干涉法测量平面度误差，是把平晶放在它所能覆盖的整个被测平面上，用平晶工作面体现理想平面，根据测量时出现的干涉条纹形状和数目，由计算所得的结果作为平面度误差值。这种测量方法只适用于测量精研小平面及小光学元件。

除上面介绍的几种方法外，测量平面度的方法还包括液面法、自准直仪测量法、水平仪法、跨步仪测量、表桥测量法等。因此，如果要得到被测实际表面的平面度误差，必须首先得到实际表面的原始数据，最根本的问题就是从中要找出其基准平面，再通过比较得出相应的平面度误差。