超越摩尔定律：计算机发展的新趋势

近几年来，越来越多的微电子技术越过摩尔定律的界限而进入“超越摩尔定律”（More than Moore，MtM）领域。从技术角度看，超越摩尔定律涵盖了所有基于或源于硅技术的技术，但这些技术并不简单地遵循摩尔定律。一个典型的例子是，电感、电容和电阻等无源元件正在被集成在硅片上，以此来满足当前多频带、多模态移动电话的集成要求。超越摩尔定律技术的其他例子有高电压、功率、模拟、RF器件、固态照明、传感器和执行器等。

现有的非传统CMOS半导体工艺技术已经实现了高电压、低功率、模拟、射频器件和固态照明。除此之外，需要新的专用技术来实现机械的、热的、声的、化学的和光学的各种功能。纳米技术和生物技术的融合也出现了，而这两种技术都需要全新的晶片加工技术。异质系统的集成将是把不同半导体技术集成到多功能智能产品的关键方法。在环境智能（Ambient Intelligence）领域，通过把电源嵌入电子设备中并把非电子功能添加进电子设备中，超越摩尔定律将最终催生与人体或环境直接连接的界面系统。因此，从应用角度看，超越摩尔定律能够实现功能等同于人的眼睛、耳朵、鼻子、手臂和腿的器件，而超越摩尔定律实现的微处理器和存储子系统则等同于人类的大脑。

超越摩尔定律的技术挑战是超越摩尔定律依赖于具体的应用和产品，如RF、传感器/执行器、生物射流、高压和电源、MEMS/NEMS等。超越摩尔定律涉及的部分一般问题如下：

1）通过掌握集成电路、封装和异质系统的要求和交互作用，开发新型的集成工艺；(www.xing528.com)

2）为了经济地大量制备多种与CMOS兼容的传感器/执行器/MEMS，建立可重复使用的设计平台、加工和装配环境；

3）对超越摩尔定律工艺和产品的多物理特性进行多尺度模拟、建模和刻画；

4）提高设计的可靠性、可测试性和可制造性。