1.试样要求
（1）试样表面应清洁，无沾污或氧化层。
图11-7 全类型热电势法测定导电类型装置
a）用零位指示器 b）用数字电压表
（2）若试样表面有外来物质沾污，应进行如下处理：
1）用研磨或喷砂的方法适当处理试样表面。
2）将处理后的试样用水冲洗。
3）用无油、干燥的氮气或氩气吹干试样。
4）将试样保存在清洁的环境中。
2.测试步骤
（1）热探针法
1）验证热探针是否接于零位指示器负极。
2）抛光热探针，除去其表面氧化层。
3）将热探针加热到40～60℃，用测温装置测其温度。
4）使两只探针的距离在几毫米内，在不损伤薄硅片的情况下将其支撑，将两只探针稳稳地压在试样上。
5）观察零位指示器指针的偏转情况。若指针向正方向偏转，则试样为p型；向负方向偏转，试样为n型。
6）在试样表面的测试区域移动探针，测定其导电类型。(https://www.xing528.com)
（2）冷探针法
1）验证冷探针是否接于零位指示器的正极。
2）将冷探针在冷却剂中浸约5min。
3）按热探针法进行测试。
（3）点接触法
1）验证电路联接是否与图11-3、图11-4或图11-5一致。
2）将大面积欧姆接触器放在清洁的试样上，并固定好。
3）用小于49N的力，加到点接触探针上。
4）如采用零位指示器，点接触探针必须接于指示器正极。若指示器的指针偏向正极，则试样为p型；若指针偏向负极，试样为n型。若指针偏转不稳定，则不适宜采用该法测定。如采用示波器显示，则按图11-4中所示的整流特性测定导电类型。如采用曲线示踪仪，则把接触探针接到示踪仪的集电极端。把欧姆表接到示踪仪的发射极端，调节示踪仪上的刻度调节钮，直到能看到整流特性曲线时。测定试样导电类型装置见图11-5。
5）在试样表面的测试区域移动点接触探针，测定其导电类型。
（4）整流导电类型测试法和热电势导电类型测试法
1）验证一只探针是否按整流导电类型测试法（图11-6）连接好，探针的另一端接交流电源和零位指示器的正极，或数字电压表的高阻抗端。
2）在不损坏薄硅片的情况下支撑硅片，将探针与试样接触。
3）观察零位指示器指针偏转情况或数字电压表读数。若指针指示为正，则试样为p型；若指示为负，试样为n型。如零位指示器指示值小于0.5μA，或数字电压表读数小于500mA，就不能用热电势导电类型测试法进行测试。
4）如果用整流导电类型测试法不能测定，则改用热电势导电类型测试法测定。将探针按图11-7所示连接好，3号探针尖靠近热源。热源是由1、2探针间通入电流方法产生的。将3号探针接到零位指示器的负极，或数字电压表的低阻抗端，使探针与试样接触，观察零位指示器指针偏转情况，或观察数字电压表读数，若指针指示为正，则试样为p型；若指示为负，试样为n型。
5）在试样表面的测试区域移动点接触探针，确定材料的导电类型。
测绘完毕后，要将结果清晰地、准确地标注在被测晶体上。
免责声明：以上内容源自网络，版权归原作者所有，如有侵犯您的原创版权请告知，我们将尽快删除相关内容。
