高频测量装置及其使用方法

1.热探针法 图11-1所示的热探针热电势法测定导电类型装置，由以下几部分组成：

1）两只探针选用不锈钢或镍材制作，每只探针针尖成60°的锥体，其中一只探针杆上绕有10～20W的加热线圈，使加热线圈与探针绝缘。

2）调压电源，能使探针的温度加热到40～60℃。

3）零位指示器，其偏转灵敏度不低于1×10^-9A/mm。

4）温度传感器，用于测量热探针温度。

图11-1 热探针热电势法测定导电类型装置

图11-2 冷探针热电势法测定导电类型装置

2.冷探针法 图11-2示出冷探针热电势法测定导电类型装置。两只探针由铜材或铝材制作，针杆用酚醛等衬材绝缘，其中一只探针的热容量至少是15g铝的热容量。将探针在液氮中浸一下，在25℃的环境下，探针能在不高于-40℃下保持约5min，探针针尖成60°的锥体，接触半径为20μm。

3.点接触法 图11-3为电流检测器和点接触整流法测定导电类型装置。图11-4为示波器显示和点接触整流法测定导电类型装置。图11-5为曲线示踪仪和点接触整流法测定导电类型装置。

图11-3 电流检测器和点接触整流法测定导电类型装置

要得到完整的整流特性，必须手动变换曲线示踪仪的极性：

1）自耦变压器能使50Hz或60Hz的0～15V电压加到待测试样上，见图11-3和图11-4。

2）隔离变压器见图11-3和图11-4。

3）探针用铜、钨、铝或银等合适的导体制成。探针一头成锥形，接触半径不大于50μm。

4）大面积欧姆接触器，采用铅箔或铟箔等软性材料和弹簧夹具，或其他类似方式构成。

5）电流检测器（见图11-3）的表头中心刻度为零，其满刻度灵敏度至少要优于200μA。一只示波器（见图11-4）或曲线示踪仪（见图11-5）。

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图11-4 示波器显示和点接触整流法测定导电类型装置

图11-5 曲线示踪仪和点接触整流法测定导电类型装置

4.整流导电类型测试法 图11-6示出全类型整流法测定导电类型装置。它由以下几部分组成：

1）三只探针。可采用直排四探针的三只探针。

2）交流电源。电压为6～24V，一般采用12.6V，限制最大电流不大于1.0A。

3）零位指示器。其灵敏度优于10^-7A/mm，与1MΩ电阻串联后，至少应有0.1V/mm分辩率或采用极性指示的数字电压表（DVM），其分辩率优于0.1V/单位刻度。

5.热电势导电类型测试法 图

11-7示出全类型热电动势法测定导电类型装置。它由以下几部分组成：

1）直排四探针与测量电阻率用的四探针相同。

2）零位指示器的灵敏度优于10^-9 A/mm，或极性指示数字电压表（DVM），精度优于100μV/单位刻度。

图11-6 全类型整流法测定导电类型装置

a）用零位指示器 b）用数字电压表

3）交流电源，电压为6～24V，限制电流不超过1.0A。

4）挡板在测试过程中用于遮挡光线，防止光线照射试样。

5）试样高频屏蔽装置，需要时要连接好导线。

6）研磨或喷砂设备。