【摘要】：测试硅单晶中氧含量的方法有多种，主要的测量方法有物理法、化学法及电子法，见表10-1。测定氧原子含量的有效范围是2.5×1015～3.0×1018原子/cm3。实际测量时，要求样品两面抛光，平面度要求也很高，因此以研究为目的的测试，可按样品没有反射和散射时处理。要求参比样品中不含有待测元素。
免责声明：以上内容源自网络，版权归原作者所有，如有侵犯您的原创版权请告知，我们将尽快删除相关内容。
