1.石墨舟的清洗 石墨舟在沉积200～300次后，石墨电极片上附上了大量的氮化硅化合物，必须进行清洗。清洗步骤如下：
（1）拆下石墨舟的上下金属电极叉，将石墨舟放入石墨舟清洗槽内。
（2）往清洗槽中加水，直至石墨舟被全部淹没或稍许高出；然后沿着槽壁小心倒入四瓶氢氟酸。倒入氢氟酸时，应均匀地倒在清洗槽的各个部位，再加水至指定液位。打开清洗槽的进气阀进行鼓泡。鼓泡时应注意防止氢氟酸飞溅伤人。浸泡时间不少于6h。
（3）当石墨舟上的氮化硅清洗干净后，关闭进气阀，取出石墨舟，将它放入另一清洗槽加水清洗，浸泡时间不少于3 h，同时进行鼓泡。
（4）用纯水漂洗0.5h，取出晾干；然后放入烘箱烘烤，在100℃下烘烤2h，再在180℃下烘烤2h。
（5）将金属电极叉置入氢氟酸溶液中浸泡0.4h，去掉上面的氮化硅。浸泡时注意不要浸泡金属电极叉的焊接部分。浸泡后用清水冲洗0.5h，以去除氢氟酸，然后放入烘箱烘烤，在100℃下烘烤0.4 h。
（6）将金属电极叉装到石墨舟上，注意不要装反。用万用表检查石墨舟两极是否绝缘。若不绝缘，应检查安装是否有短路情况；若电极间有短路情况，则继续加热烘烤，直至两极绝缘。(www.xing528.com)
（7）清洗后的新石墨舟投入使用前，必须经过预处理，即在不放入硅片的情况下，放入反应室中沉积氮化硅1h。严禁使用未经过处理的石墨舟进行生产。
2.石英管的维护
（1）定期将石英管内的碎片捞出。打捞时应使用指定的打捞工具，打捞人员必须穿戴必要的防烫护具，严禁在炉体处于加热状态进行无保护打捞。在降温状态下，可用吸尘器清理石英管内的碎片。打捞出的碎片应放入收集碎片的盒子里。打捞时不得对石英管有任何损伤。
（2）如果石英管的内壁附着大量的粉尘，污染硅片表面，应将设备温度降至室温，用无尘布或无尘纸，蘸无水酒精擦拭石英管的内壁，去除粉尘。
（3）每半年对石英管进行一次彻底清洗。
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