晶体生长控制器的运用技巧

1.直径控制器的使用

（1）上电准备工作。直径控制器在本次上电以前，保存着上次拉晶结束时的所有数据状态，它们包括显示参数表的所有数据，设置参数表的所有数据，自动/手动状态。上电后要作如下准备工作：

1）如果直径控制器在自动状态，按直径A/M键，使直径控制器在手动状态。

2）按控径参数键，选择控速输出参数“OP×.××”；按参数修改键，使其数值为零。

（2）晶体放肩转等径

1）按计长清零键，使晶体长度L、晶体重量清零。

2）用测径仪测量晶体直径，按控径参数键，当显示预送直径“Id×××.×”时，修改该参数，将实际直径送入，这时直径控制器准确计算晶体的重量。

（3）等径生长稳定。按下直径A/M键，将测量直径送入设定直径，并使直径A/M键上方的指示灯点亮，表明直径控制器已投入自动运行，晶升速度会随晶体直径的变化而自动调节，达到晶体自动等径生长的目的。

（4）自动/手动状态的切换。在晶体生长过程中，由于干扰等因素的作用，如果晶体直径的控制效果不好，这时可以切回手动状态。当操作人员控制晶体重新稳定生长时，可重新投入自动，这时自动/手动状态的切换是无忧的。

2.温校控制器的使用(www.xing528.com)

（1）上电准备工作。温校控制器在本次上电以前，保存着上次拉晶结束时的所有数据状态。它们包括显示参数表的所有数据，设置参数表的所有数据，自动/手动状态。因此，上电后要作如下准备工作：

1）如果温校控制器在自动状态，按温校A/M键，使温校控制器在手动状态。

2）按温校控制器的温控参数键，选择温校速率“t_r××.×”，使其值为零，即恒温状态；选择温校输出“OP××××”，使其值为800左右。

3）检查设定曲线。如果不需改变参数，则保持其参数不变；如果要改变参数，则对相应参数重新设置。

（2）引肩放肩过程。在此过程，如果需要温校速率补偿温度变化，则设置温校速率参数，这时温校功能为手动方式下的固定斜率变化。

（3）晶体等径生长。当晶体刚转入等径生长时，可设置温校速率为一固定斜率变化，完成温校手动控制；当晶体等径生长，直径控制器投入自动后，稳定一段时间，即可按温校控制器上的温校A/M键，使温校控制器投入自动，这时温校速率随温升速度的变化而变化。

（4）自动/手动状态的切换。在温校控制器自动/手动的切换过程中，温校输出值保持不变。在自动/手动状态的切换中，当前的温校速率值即成为设定温校速率值，并在此基础上温校速率随晶升速度的变化而变化，不论在手动还是自动状态，均可修改温校速率。

（5）收尾控制。当晶体由等径控制转入收尾控制时，这时按直径A/M键及温校A/M键，退出自动状态。这时的晶升速度及温校速率均不再变化，这时按下收尾控制键，并在3s内按下ENT键，即进入收尾控制，这时的晶升速度、温校速率按收尾程序控制。