【摘要】：四探针法是用四根金属探针与试样表面接触来测定电阻的方法，原理如图6-5所示。根据1、4探针间的电流I和2、3探针间的电位差U，可直接用下式求出电阻率：式中 ρ——电阻率，单位为Ω·m；U——2、3探针间的电位差，单位为V；I——1、4探针间的电流，单位为A；C——与被测试样的几何尺寸及探针间距有关的系数。用四探针法测量电阻率时，适当选择电流也很重要。图6-5 四探针电阻测量方法原理图
四探针法是用四根金属探针与试样表面接触来测定电阻的方法，原理如图6-5所示。
图6-5中1、2、3、4是四根金属探针（一般用金属钨丝腐蚀而成），排列在一条直线上，要求四根探针同时与样品表面良好接触，1、4探针用来通电流，当有电流通过时试样内部各点产生电位差。2、3探针用来测量2、3点的电位差。根据1、4探针间的电流I和2、3探针间的电位差U，可直接用下式求出电阻率：
式中 ρ——电阻率，单位为Ω·m；
U——2、3探针间的电位差，单位为V；
I——1、4探针间的电流，单位为A；
C——与被测试样的几何尺寸及探针间距有关的系数。
当试样几何尺寸比探针间距大许多倍时，按下式计算电阻率：(www.xing528.com)
式中 ρ——电阻率，单位为Ω·m；
U——2、3探针间的电位差，单位为V；
I——1、4探针间的电流，单位为A；
S——等距离四探针的间距，单位为mm。
这种方法可测定导体、半导体试样的电阻率，一般把导体视为半无限大物体。探针极尖，而且间距足够小（通常为1mm），以便保证导体的各个边界与探针的距离远大于探针间距。用四探针法测量电阻率时，适当选择电流也很重要。如果电流过大，会使试样局部发热，从而影响电阻测量结果。
图6-5 四探针电阻测量方法原理图
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