（1）双光路红外分析器
一种采用微流量检测器的双光路红外分析器的光学系统如图3.14所示。
红外光源1被加热到约700℃，光源发出的光经过光束分离器3被分成两路相等的光束（测量光束和参比光束），红外光源可左右移动以平衡光路系统，分光器同时也起到滤波气室的作用。
参比光束通过充满N2的参比气室8，然后未经衰减地到达右侧参比接收气室11。测量光束通过流动着样气的测量气室7，并根据样气浓度的不同而产生或多或少的衰减后到达左侧接收气室10。
接收气室被设计成双层结构，内部充填有特定浓度的待测气体组分。光谱吸收波段中间位置的光优先被上层气室吸收，边缘波段的光几乎同样程度地被上层气室和下层气室吸收。上层气室和下层气室通过微流量传感器12连接在一起。这种耦合意味着吸收光谱的带宽很窄。光耦合器13延长了下层接收气室的光程长度。改变光耦合器旋杆14的位置可以改变下层检测气室的红外吸收。因此，最大限度减少某个干扰组分的影响是可能的。
切光片5在分光器和气室之间旋转，交替地、周期性地切断两束光线。如果在测量气室有红外光被吸收，那么就将有一个脉冲气流被微流量传感器12转换成一个电信号。微流量传感器中有两个被加热到大约120℃的镍格栅，这两个镍格栅电阻和两个辅助电阻形成惠斯通电桥。脉冲气流反复流经微流量传感器，导致镍格栅电阻阻值发生变化，使电桥产生输出信号，该输出数值取决于被测组分浓度的大小。
图3.14 双光路红外分析器光学系统示意图(www.xing528.com)
1—可调红外光源；2—光学过滤器；3—光束分离器（兼滤波气室）；4—旋转电流驱动器；5—切光片；6—样气入口；7—测量气室；8—参比气室；9—样气出口；10—测量接收气室；11—参比接收气室；12—微流量传感器；13—光耦合器；14—光耦合器旋杆
（2）多组分红外分析器
图3.15为多组分红外分析器内部气路图。被测样气由入口1进入，首先经膜式过滤器5除尘除水。流路中的压力开关9用以监视样气压力，当压力过低时发出报警信号；浮子流量计8显示样气流量，供维护人员观察；限流器2起限流限压作用；凝液罐6分离可能冷凝下来的液滴，以保护分析器免遭损害。
样气经上述处理后，送入分析器进行分析。该仪表中有上下两个红外分析模块，均采用单光路系统，不分光红外吸收原理，微流量检测器的接收气室串联布置。上面一个模块是双组分红外分析模块，可以分析两种组分，其中有两套微流量检测器和两组接收气室11串联连接在一起，分别接收不同辐射波段的红外光束，光谱吸收波段中间位置的光优先被前气室吸收，边缘波段的光几乎同样程度地被后气室吸收，前气室和后气室通过微流量传感器连接在一起，当红外辐射经过测量气室和前后接收气室后，能量被吸收导致前后气室压差增加，从而产生一个流量通过微流量传感器，微流量传感器测得这个流量并产生一个相应电信号。分析器中下面的一个分析模块为单组分红外分析模块，只有一套微流量检测器和接收气室，可以分析一种组分，检测原理同双组分红外分析模块。分析后的样气经凝液罐7，携带冷凝液一起排出分析仪。
图3.15 多组分红外分析器内部气路图
1—样气/标准气入口；2—限流器；3—吹扫入口（用于机箱和切光片吹扫）；4—气体出口；5—膜式过滤器；6，7—凝液罐；8—浮子流量计；9—压力开关；10—测量气室；11—微流量检测器和接收气室
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