【摘要】：薄膜电容检测器又称薄膜微音器，由金属薄膜片动极和定极组成电容器，当接收气室内的气体压力受红外辐射能的影响而变化时，推动电容动片相对于定片移动，把被测组分浓度变化转变成电容量变化。定片与薄膜间的距离为0.1~0.03 mm，电容量为40~100 pF，两者之间的绝缘电阻>105 MΩ。薄膜电容检测器是红外线气体分析器长期使用的传统检测器，目前使用仍然较多。
薄膜电容检测器又称薄膜微音器，由金属薄膜片动极和定极组成电容器，当接收气室内的气体压力受红外辐射能的影响而变化时，推动电容动片相对于定片移动，把被测组分浓度变化转变成电容量变化。
双通式薄膜电容检测器的结构如图3.4所示。薄膜材料以前多为铝镁合金，厚度为5~8 μm，近年来则多采用钛膜，其厚度仅为3 μm。定片与薄膜间的距离为0.1~0.03 mm，电容量为40~100 pF，两者之间的绝缘电阻>105 MΩ。
图3.4 双通式薄膜电容检测器结构简图
1—晶片和接收气室；2—壳体；3—薄膜；4—定片；5—绝缘体；6—支持体；7、8—薄膜两侧的空间；9—后盖；10—密封垫圈
薄膜电容器通常采用平行板结构，其电容量C由式（3.16）给出：
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式中 U——极板间电压；
ε0——真空介电常数；
εr——极板间物质的相对介电常数；
S——单块极板的面积；
d——极板间距离。
薄膜电容检测器是红外线气体分析器长期使用的传统检测器，目前使用仍然较多。它的特点是温度变化影响小、选择性好、灵敏度高，但必须密封并按交流调制方式工作。其缺点是薄膜易受机械振动的影响，接收气室即使有微漏也会导致检测器失效，调制频率不能提高，放大器制作比较困难，体积较大等。
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