【摘要】：引入了多重激光冲击压印工艺，以使用具有一维周期性沟槽的软光盘作为模具，以高应变率在金属表面上直接制造分层的微纳米像素。激光压印的手段广泛应用于材料性能方面的研究，特别是在新型二维材料领域的研究。通过激光处理，可以降低零维、一维、二维材料之间的间隔，实现更强的耦合，有利于实现器件的大规模制造。
在纳米尺度上对金属进行大面积图案化一直以来都是一个挑战。传统的微细加工工艺涉及许多高成本的步骤，例如刻蚀和高真空沉积，这些高成本工艺步骤限制了功能性纳米结构的发展，特别是多尺度金属图案的发展。引入了多重激光冲击压印（MLSI）工艺，以使用具有一维周期性沟槽的软光盘作为模具，以高应变率在金属表面上直接制造分层的微纳米像素。廉价的软光盘中独特的金属聚合物层状结构使其成为MLSI工艺模具的理想选择。通过MLSI制造了各种类型的层次结构，它们的光反射率可以通过深度、宽度和角度的组合进行调节。
激光压印的手段广泛应用于材料性能方面的研究，特别是在新型二维材料领域的研究。激光可以实现对结构和材料压印角度、深度的控制，以及对量子点、纳米线结构的控制。利用激光局域应力场能够研究材料相变、预拉伸等方面。另外，利用激光处理可以实现许多新颖的特性，包括二维材料纽结结构的形成以及机械性能的分析、在石墨烯中打开超大带隙、超疏水结构的激光压印等。通过激光处理，可以降低零维、一维、二维材料之间的间隔，实现更强的耦合，有利于实现器件的大规模制造。激光处理还可以实现材料生长的控制，例如钙钛矿材料晶界、缺陷、稳定性的控制，能带结构的调控。通过激光对金属有机框架材料进行处理，可以在更小的尺寸下还原金属颗粒，并构建优良的黑体特性。总之，通过激光压印产生的纳米结构可以实现良好的功能，具有重要的应用价值。(www.xing528.com)
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