高速扫描激光器件实现φ3 mm通光孔径和4.9 mrad扫描角

1.大口径红外声光调制器

针对CO2激光器的需求，研制国内空白的大口径红外声光调制器，实现对CO2激光器的调Q巨脉冲输出和对高功率CO2激光的高速调制。技术指标：通光波长9.4μm或10.6μm；最大光功率密度大于15 W/mm2；有效通光孔径φ11.6 mm；衍射效率不小于90%。

2.大口径电光调制器

由于开关速度在10 ns以下，所以电光调制器是目前固体激光器再生放大技术和腔倒空技术的核心单元器件。研制出BBO普克尔盒及其驱动电源，最大晶体口径为8 mm2，通光孔径为φ7.5 mm，半波电压（1064 nm）为9.2 kV，开关时间小于10 ns。(www.xing528.com)

3.基于声光效应的高速扫描器件

声光偏转器通过改变所加载超声场的频率对入射激光束进行高速偏转，从而实现空间的精确扫描，是高端的高速、固态、无惯性激光扫描器件。声光偏转器不仅设计难度大、制备工艺复杂，而且拥有大量的封装knowhow，涉及晶体光学与晶体声学、精密加工、光学镀膜、半导体封装，以及宽频带RF电路设计与调控技术等多个学科。须实现通光孔径φ3 mm，扫描角4.9 mrad，工作波长355nm的高速扫描器件。

研制宽带射频驱动电路，实现输出射频信号在80 MHz带宽范围内（中心频率170MHz）功率和频率的连续可调，同时有效地降低射频噪声对器件RF信号的影响，实现器件的驻波比（VSWR）小于2∶1。