深耕光学检测：自主创新的探索

“中导光电成立15年以来，专注于高速高分辨率光学检测技术自主研发和创新，产品均为国内首创，性能达世界一流，广泛用于替代进口，同时大批进入国际市场。”中导光电光学部部长段相永博士说道。

光学测试与检测是半导体产业制造过程中产品质量、精度和性能等方面的重要保证，随着半导体产业的不断发展，检测设备的地位变得越发重要。如何在竞争对手中脱颖而出，中导光电的答案是不断地自主创新，提高产品附加值。据悉，中导光电每年都会投入上千万元进行创新研发。

中导光电作为一家专业生产各种平板显示屏自动光学检测设备和光伏检测设备的国家高新技术企业，瞄准高端产品市场，自主研发、储备了多个新产品。早在2015年，中导光电开发的平板显示和光伏工业设备产品就有10余种，产品性能均达到世界一流水平。

据了解，中导光电生产的自动光学检测设备，适用于国内多个行业，填补了国内半导体装备的空白，也解决长期受制于进口的困扰。(www.xing528.com)

唯创新者进，唯创新者强。在中导光电的公司大堂醒目的位置张贴着这样一段话：“坚持自主创新，做中国创造的先行者；聚焦战略领域，做重大装备的拓荒者；践行科学发展，做产业升级的实践者。”自成立以来，中导光电一直致力于科技强企战略，并不断填补国内相关行业空白，补齐平板显示高端量测设备的短板，并与京东方、TCL华星、天马微电子、信利等国内多个主要平板显示制造企业建立了良好合作关系。截至2020年，中导光电累计销售各类高端检测设备产品逾300套，装机范围覆盖中国大陆及中国台湾数十条重要产线。

据悉，2020年中导光电研制的国产11代线高端量测设备（CDOL：自动线宽测量机）正式交付，这是中导光电公司除AOI系列之外的另一拳头产品，也是继G8.5代线以下平板显示高端量测设备国产化之后又一次重要突破。该设备主要应用于平板显示前道制程领域的关键线宽尺寸测量，测量度达到亚微米级，重复精度（3σ）达到20纳米，处于国内领先和国际先进水平。

据悉，在新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制造领域，由于很多厂商对成本与效率指标的追求，新产线投资主要向大世代方向发展，11代线是当前世界范围内的最大世代产线。随着产线工艺尺寸的大幅提升，以及良品率指标的进一步提高，市场对产线设备的各方面技术指标都提出了更为严格的要求，中导光电研发和生产的一系列检测和量测设备，正是提高产线良品率必不可少的重要生产设备。